फैब फ्लोर पर, थर्मल ड्रिफ्ट का पता चेतावनी संकेतों के माध्यम से नहीं चलता। इसका प्रभाव उत्पादन हानि एवं सीडी नियंत्रण पर पड़ता है। मैटसन आरटीपी लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि वे ड्राइंग एवं फोटोरेसिस्ट संबंधी प्रक्रियाओं को थर्मल बजट के भीतर ही रखें।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंपों में क्वार्ट्ज आवरण होता है, जिससे तापमान तेज़ी से एवं स्थिर रूप से नियंत्रित होता है। इससे प्रक्रिया के दौरान वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। ऐसे लैंप हजारों घंटों तक स्थिर रूप से काम करते हैं… हमारे यहाँ 5,000+ घंटों तक काम करने वाले लैंप भी हैं, जिनमें आउटपुट में 5% से भी कम कमी आई है। चूँकि ऐसे लैंपों से कोई कण नहीं निकलते, इसलिए क्लीनरूम में कणों की संख्या क्लास 1–100 के दायरे में ही रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसे लैंपों की आवश्यकता होती है जो विलायकों को तेज़ी से निकाल सकें, एवं फोटोरेसिस्ट को सही तरीके से सेट कर सकें। ऐसे लैंपों से प्रक्रिया में दोहराव संभव होता है, एवं वेफरों से अतिरिक्त नमी भी जल्दी एवं समान रूप से निकल जाती है। इससे अपशिष्ट उत्पादों की मात्रा कम हो जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रति बैच ऊर्जा खर्च भी कम हो जाता है।
स्थापना संबंधी विवरण
लैंपों की स्थापना तो आसान है, लेकिन लैंपों की दिशा एवं रिफ्लेक्टरों के संरेखण की जाँच आवश्यक है… गलत संरेखण से स्थानीय रूप से तापमान बढ़ सकता है। बेस कनेक्टर, वोल्टेज एवं कूलिंग सिस्टम को चैंबर के अनुरूप ही रखें, एवं नियमित रूप से ऑप्टिकल जाँच भी करें। ऐसा करने से प्रक्रिया नियंत्रण में कोई समस्या नहीं आती।