फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, वॉशिंग के बाद इंतज़ार करना संभव ही नहीं है। बची हुई पानी की बूँदें कणों को आकर्षित करती हैं, जिससे फोटोरेसिस्ट प्रभावित हो जाता है। ऐसी स्थिति में लिथोग्राफी प्रक्रिया शुरू होने से पहले ही उत्पादन में कमी आ जाती है। स्पिन-ड्राइंग प्रक्रिया में समय लगता है, जिससे उत्पादन दर प्रभावित होती है, एवं अनावश्यक विविधताएँ भी उत्पन्न होती हैं। हमने ऐसी लैंपें विकसित की हैं, जिससे समय कम हो जाता है, एवं वेफर की सतह अखंडित रहती है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम छोटी एवं मध्यम-तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं; ऐसी तरंगें पानी को तेज़ी से अवशोषित करती हैं, इसलिए ऊर्जा बिना संपर्क के ही वेफर की सतह तक पहुँच जाती है। सक्रिय क्षेत्र में वेफर की सतह का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; ऐसे में फिल्मों को कोई नुकसान नहीं पहुँचता। एक चक्र से दूसरे चक्र तक तापमान में ±0.5°C का ही अंतर रहता है; ऐसे में “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ सटीक रूप से ही होती हैं।
यह उपकरण क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है। हमने 0.1 माइक्रोन एवं उससे कम आकार के कणों की उपस्थिति को शून्य पाया। वास्तविक उपयोग में, यह लैंप 24/7 काम करता है, एवं 5,000 घंटों से अधिक समय तक उत्पादन दर 2% के भीतर ही रहती है।
फैब्रिकेशन प्रक्रिया में इसका क्या लाभ है?
वॉशिंग के तुरंत बाद ही यह लैंप वेफर की सतह पर मौजूद पानी को कुछ ही सेकंड में सुखा देता है। ऐसे में वेफर को सीधे ही हॉटप्लेट पर भेजा जा सकता है, जिससे कोई दोष नहीं रहता। इससे कोटिंग प्रक्रिया में समय बचता है, एवं अनावश्यक ऊर्जा खर्च भी कम हो जाता है।
चूँकि तापमान एक स्थिर स्तर पर ही रहता है, इसलिए “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ भी सटीक रूप से ही होती हैं। इससे वेफरों की गुणवत्ता में सुधार होता है, एवं नमी के कारण होने वाले नुकसान भी कम हो जाते हैं।
वास्तविक उपयोग में…
इस लैंप के लिए क्लीनरूम-ग्रेड 24 VDC वोल्टेज आवश्यक है, एवं चेंबर को ठंडा रखने हेतु विशेष व्यवस्था भी आवश्यक है। प्रमुख कोटर/ट्रैक प्लेटफॉर्मों के लिए रीट्रोफिट किट भी उपलब्ध हैं। वेफर को ठीक से फिक्स करने हेतु ±0.5 मिमी की सटीकता आवश्यक है; इसलिए शुरुआती सेटअप हेतु एक फील्ड इंजीनियर की आवश्यकता है।
उपयोग शुरू करने से पहले, तापमान की सटीकता जानने हेतु 30 मिनट का टेस्ट आवश्यक है।