पैकेजिंग लाइन पर, सफाई के बाद भी थोड़ी सी नमी ही डिलामिनेशन, वायर बॉन्ड फेल्योर आदि का कारण बन सकती है। 24/7 चलने वाली फैक्ट्रियों में थर्मल ड्रिफ्ट एवं कणों का प्रभाव “जोखिम” नहीं, बल्कि उत्पादन में बाधा बनता है। ड्राइंग प्रक्रिया तो निरंतर, स्वच्छ एवं तेज़ होनी चाहिए… हर शिफ्ट में, हर बैच में।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ड्राइंग प्रक्रिया को दो बातों पर आधारित बनाते हैं – वेफर स्तर पर एकरूपता, एवं क्लीनरूम के मानकों का पालन। सिस्टम, सब्सट्रेट पर ±0.1°C की सटीकता बनाए रखता है; इससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता प्रभावित नहीं होती। यह सिस्टम क्लास 1–100 के वातावरण में काम करता है, जहाँ कोई कण भी नहीं होता… इसकी जाँच इन-लाइन मॉनिटरिंग द्वारा की जाती है। घटकों की उम्र 10,000 घंटों से अधिक होती है, एवं हजारों थर्मल चक्रों में भी उत्पादन स्थिर रहता है। दोहरावी प्रक्रियाओं हेतु बंद-लूप नियंत्रण, ट्रेसेबल रेसिपीज़, एवं थर्मल-फील्ड मैपिंग आवश्यक है।
पैकेजिंग फैक्ट्रियों में इसकी उपयोगिता क्यों है?
थ्रूपुट एवं उत्पादन दर ही वहाँ महत्वपूर्ण मापदंड हैं। यह विधि वेफरों को तेज़ी से सूखा देती है, बिना थर्मल बजट को प्रभावित किए… इससे छोटे आकार के वेफर एवं बेहतर इनकैप्सुलेशन संभव हो जाता है। तेज़ नियंत्रण एवं कम स्टैंडबाय लॉस के कारण ऊर्जा खपत कम हो जाती है। विश्वसनीयता का अर्थ है – कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं… कोई आपातकालीन स्थिति नहीं… लगातार नमी हटने की प्रक्रिया, पूर्वानुमेय चिपकने की क्षमता, एवं स्थिर प्रक्रिया… हर बैच में।
कुछ ऐसी वास्तविकताएँ जिन्हें नजरअंदाज नहीं किया जा सकता:
प्लेटफॉर्म को विशेष क्लीन पावर एवं ठीक से कार्य करने वाली वेंटिलेशन सिस्टम की आवश्यकता है। ठीक से ग्राउंडिंग एवं वेंटिलेशन न होने पर इलेक्ट्रोमैग्नेटिक शोर एवं टर्बुलेंस के कारण सूक्ष्म कंपन होते हैं… जिससे चिपों की स्थिति प्रभावित होती है। प्रारंभिक इंटीग्रेशन हेतु विभिन्न प्रकार के कैरियरों पर थर्मल-मास कैलिब्रेशन आवश्यक है… एक बार यह प्रक्रिया पूरी हो जाने के बाद ही प्रक्रिया स्थिर रहती है। लेकिन यह सेटअप प्रक्रिया अनिवार्य है।