בחדרי הייצור, אי אפשר להרשות לעצמנו לחכות לאחר השטיפה. כל מים שנשארים על השבב יגרמו להצטברות של חלקיקים, וזה עלול לפגוע באיכות השבב. כך, כבר בשלבים הראשונים של הייצור עלולה להיווצר אובדן באיכות השבב. תהליכי ייבוש איטיים פוגעים בקצב הייצור, וגורמים לשינויים באיכות השבב שאיננו רוצים. פיתחנו נורה שמאפשרת ייבוש מהיר של השבב, כדי לחסוך זמן ולשמור על איכות השטח.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים באור אינפרא-אדום בגלי אורך קצרים ובינוניים, שמותאם לספיגת המים. כך, האנרגיה פוגעת בשבב במהירות, ללא מגע. באזור הפעיל של השבב, האחידות הטמפרטורלית נשמרת בטווח של ±0.1°C, מה שמגן על שכבות השבב. השגרתיות של הטמפרטורה בין הפעולות השונות נשמרת בטווח של ±0.5°C, כך שהתהליכים של ייבוש השבב נשארים אמינים.
המכשיר מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1 עד Class 100. אנו אימתנו שאין יצירה של חלקיקים בגודל של 0.1 מיקרון ומטה. בשימוש המעשי, הנורה פועלת 24/7 ללא הפסקות, והיציבות של הפעולה נשמרת בטווח של 2% לאורך 5,000 שעות ויותר.
למה זה חשוב בחדרי הייצור? מיד לאחר השטיפה, הנורה מסלקת את המים מהשבב תוך שניות. כך ניתן לשלוח את השבב ישירות לתנור לייבוש, ללא חלקיקים או כתמים. זה מקצר את זמן הייצור ומפחית את השימוש באנרגיה. מכיוון שהטמפרטורה נשמרת ברמה גבוהה, ניתן לשלוט טוב יותר באיכות השבב. התוצאה היא ייצור של שבבים בכמויות גדולות יותר לשעה, ופחות שבבים פגומים עקב לחות.
מציאות מעשית הנורה דורשת מקור אנרגיה של 24 VDC, וכן מערכת ניקוז מיוחדת לקירור החדר. יש גם חבילות התקנה לפלטפורמות הייצור השונות. ההתאמה של הנורה לשבב נעשית בדיוק גבוה – ±0.5 ממ – לכן יש להשתמש במהנדס מקצועי להתקנה הראשונית. לפני השימוש, יש לבצע בדיקה של 30 דקות כדי לוודא את האחידות הטמפרטורלית.