Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem: Ein einziger Staubkorn oder ein loses Materialfragment kann dazu führen, dass Ihre Halbleiterwafer zerstört werden. Das ist frustrierend. Die meisten Heizelemente stellen außerdem ein Risiko dar – sie geben Gase ab oder lassen Partikel frei, gerade dann, wenn sie eigentlich stabil sein sollten.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden Infrarotlampen aus hochreinem Quarz und kombinieren diese mit Kabeln, die mit Teflon isoliert sind. Einfach – aber effektiv.
Das Problem mit dem hochreinen Quarz
Wir haben für die Lampenhüllen synthetisches Fused Silica verwendet. Warum? Weil dieses Material bei hohen Temperaturen nicht reagiert. Normales Glas gibt beim Erhitzen und Abkühlen mikroskopisch kleine Partikel ab. Doch dieser Quarz bleibt stabil. Er lässt das Infrarotlicht ungehindert durchdringen, ohne selbst übermäßig heiß zu werden. Keine Absplitterungen, keine Partikelemissionen – nur saubere, direkte Wärme.
Vergessen Sie die Kabel nicht!
Die Lampe allein reicht nicht aus. Die meisten Menschen überschätzen die Bedeutung der Kabel – doch genau dort kommt es oft zu Problemen im Reinraum. Wenn man in Halbleitertechnologien normale PVC-Kabel verwendet, führt die Hitze dazu, dass die Isolierung beschädigt wird. Dadurch entstehen schädliche organische Verbindungen, die in den Vakuumraum oder die Luft gelangen. Das ist im Grunde genommen eine Quelle zur Kontamination.
Deshalb verwenden wir Kabel, die mit PTFE (Teflon) überzogen sind. Dieses Material ist chemisch inert – es zerfällt nicht und gibt auch keine Gase ab, selbst bei hohen Temperaturen.
Die Realität der Technik
Diese Hochleistungslampen sind zwar großartig, da sie die Wärme schnell erzeugen – genau das, was für die Verarbeitung von Halbleiterwafern notwendig ist. Doch diese Leistung hat ihren Preis. Man muss sorgfältig planen: Die Befestigungselemente müssen stabil sein, und die Kühlströmung muss optimal sein. Wenn die Luft nicht richtig zirkuliert, kann selbst Teflon versagen. Man möchte schließlich nicht, dass die Isolierung nach sechs Monaten aufgrund eines Kühlproblems versagt.
Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für Ihre bestehenden Geräte eingesetzt werden können. Sie müssen sie nur anschließen, den PID-Controller einstellen – und schon übernehmen die Quarzlampen die Arbeit. So bleibt Ihre Produktionslinie sauber, und Sie müssen sich keine Sorgen mehr um Partikelkontaminationen machen.