ফ্যাব ফ্লোরে, থার্মাল ড্রিফটের কোনো সতর্কতা সংকেত দেখা যায় না। এর ফলে ইউইল্ডেজ কমে যায়, আর CD কন্ট্রোলও ঠিক থাকে না। ম্যাটসন RTP ল্যাম্পগুলো এমনভাবে তৈরি করা হয়েছে যাতে ড্রায়িং ও ফটোরেসিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াগুলো নির্ধারিত তাপমাত্রার মধ্যেই সম্পন্ন হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ আবরণযুক্ত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হ্যালোজেন ল্যাম্প ব্যবহার করি; এগুলো দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি ও স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় রাখতে সাহায্য করে। এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে। এছাড়া, এই ল্যাম্পগুলো হাজার হাজার ঘন্টা ধরে স্থিতিশীল আউটপুট দেয়—আমাদের কাছে এমন ল্যাম্পগুলো রয়েছে যেগুলো 5,000+ ঘন্টা কাজ করেও 5% এরও কম আউটপুট হ্রাস হয়েছে। আর যেহেতু এগুলো কাজ করার সময় কোনো কণা নির্গত করে না, তাই ক্লিনরুমের কণা-সংখ্যা Class 1–100 এর মধ্যেই থাকে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফি লাইনে এমন ল্যাম্প দরকার যা দ্রুত সলভেন্টগুলো অপসারণ করতে পারে, আর আরেক ধরনের ল্যাম্প দরকার যা ফটোরেসিস্টকে সঠিকভাবে সেট করতে পারে। এই ল্যাম্পগুলো এই ধরনের কাজগুলো নির্ভরযোগ্যভাবে সম্পন্ন করে। এছাড়া, এগুলো ওয়েফার থেকে অতিরিক্ত আর্দ্রতা দ্রুত ও সমানভাবে অপসারণ করতেও সাহায্য করে। ফলে কম অপচয়, কম রিওয়ার্ক, এবং দক্ষ রেডিয়েন্ট কাপলিং ও দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে প্রতি ব্যাচে কম শক্তি ব্যবহৃত হয়।
ইনস্টলেশন সংক্রান্ত বিষয়সমূহ
ইনস্টলেশন খুবই সহজ; কিন্তু ল্যাম্পের অবস্থান ও রিফ্লেক্টরের সারিবদ্ধতা যাচাই করা জরুরি। ভুল অবস্থানের ফলে স্থানীয়ভাবে উচ্চ তাপমাত্রা সৃষ্টি হতে পারে। নিশ্চিত হওয়া উচিত যে বেস কানেক্টর, ভোল্টেজ ও কুলিং সিস্টেম আপনার চেম্বারের সাথে মেলে। নির্দিষ্ট সময় অন্তর অপটিক্যাল পরীক্ষা করা উচিত। এতে প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়।