http://ir-heating-hub.com/vi/tags/temp/ Recent content in Temp on The Infrared Heating Hub Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 20:46:51 +0800 http://ir-heating-hub.com/vi/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Mon, 01 Jun 2026 20:46:51 +0800 http://ir-heating-hub.com/vi/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lò nhiệt độ cao cho phòng thí nghiệm chế tạo"></p> <p>Trên mặt sàn, dao động 1°C trong quá trình nướng photoresist không phải là “dịch chuyển chiều rộng đường line.” Đó là lượng phế phẩm lớn. Các node tiên tiến sống còn nhờ từng phần nhỏ của độ C, và lò phải tuân thủ điều đó, không bàn cãi.</p> <p><strong>Điều quan trọng về mặt kỹ thuật</strong><br> Chúng tôi đã xây dựng lò nhiệt độ cao với độ đồng đều từ điểm đặt đến wafer ±0.1°C, và độ ổn định này duy trì suốt toàn bộ quá trình nướng—từ soft bake đến hard bake. Vùng nhiệt nóng không chứa thạch anh, ít phát khí và sử dụng dòng khí kín để đảm bảo không sinh hạt trong điều kiện phòng sạch Class 1–100.</p>