Thay thế bóng đèn Mattson RTP

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

Trong khu vực sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ không được hiển thị qua đèn báo động. Thay vào đó, nó thể hiện qua tỷ lệ sản phẩm bị hỏng và sự biến động trong quá trình kiểm soát độ dày lớp phim quang học. Các bóng đèn Mattson RTP được thiết kế để giúp duy trì nhiệt độ trong các bước sấy khô và xử lý lớp phim quang học ở mức cần thiết.

Đèn halogen dùng cho hệ thống RTP

Fri, 26 Jun 2026 05:40:45 +0800

Trên thực tế, hiện tượng dịch chuyển nhiệt không phải là điều gì đáng quan tâm trong môi trường phòng thí nghiệm – đó là vấn đề nghiêm trọng cần được giải quyết. Khi sử dụng thiết bị RTP, chiếc đèn halogen này cần phải tạo ra nhiệt lượng ổn định và nhanh chóng, mà không gây ra sự biến đổi nhiệt độ hay tạo ra các hạt bụi trong quá trình sản xuất.

Điều quan trọng thực sự là gì? Chúng tôi chế tạo chiếc đèn này từ sợi halogen có độ tinh khiết cao, được đặt bên trong vỏ bằng thủy tinh thạch anh. Điều này giúp truyền năng lượng sóng ngắn một cách hiệu quả, từ đó giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nhờ vậy, nhiệt độ trên bề mặt wafer có thể được duy trì ở mức ổn định trong khoảng ±0,1°C, giúp kiểm soát chi phí năng lượng một cách hiệu quả. Thiết bị này cũng có khả năng hoạt động trong môi trường sạch, phù hợp với các môi trường loại 1–100, và được thiết kế sao cho không tạo ra các hạt bụi trong quá trình hoạt động.

RTP on The Infrared Heating Hub

Thay thế bóng đèn Mattson RTP

Đèn halogen dùng cho hệ thống RTP