Bộ phận sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng bảo vệ găng tay
Ngừng lãng phí nhiệt lượng trong buồng kiểm soát nhiệt
Nếu bạn từng sử dụng buồng kiểm soát nhiệt để làm nóng các tấm silic, bạn chắc hẳn hiểu rõ...
Thành phần gia nhiệt dùng để oxi hóa wafer
Trong quá trình oxy hóa, ngưỡng nhiệt độ là một giới hạn không thể vượt qua được. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ dù chỉ 0,5 độ C trong quá trình...