Ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn các wafer khi nhiệt độ tăng quá mức
Trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn, việc bóng đèn bị nổ không chỉ gây ra những phiền toái nhỏ mà còn dẫn đến gián đoạn trong quy trình sản xuất. Khi ống thủy tinh chứa bóng đèn bị vỡ dưới áp lực lớn, nó không chỉ ngừng hoạt động mà còn khiến các mảnh vỡ và hạt bụi rơi xuống các wafer.
Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn UHP nhằm ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Bí quyết để ngăn chặn sự nổ của bóng đèn
Chúng tôi sử dụng silic nung chảy tổng hợp – loại vật liệu có độ tinh khiết cực cao (hơn 99,99%). Điều này giúp bóng đèn có thể chịu được các dao động nhiệt độ lớn mà không bị nứt vỡ.
Thường thì sự cố xảy ra ở vị trí nối giữa các điện cực và ống thủy tinh. Chúng tôi đã gia cố các vùng này để đảm bảo tính kín khít, ngay cả khi áp suất bên trong tăng lên.
Ngoài ra, chúng tôi còn đặt sợi wolfram ở vị trí chính xác trong ống thủy tinh. Tại sao vậy? Bởi nếu sợi wolfram không được đặt chính xác, sẽ tạo ra điểm nóng trên thành ống thủy tinh, khiến ống bị yếu đi. Việc đặt sợi wolfram ở vị trí chính xác giúp phân bố nhiệt đều và giữ cho ống thủy tinh không bị hư hại.
Ngăn chặn sự lây lan của bụi bẩn
Ngay cả với những vật liệu tốt nhất, chúng tôi vẫn phải chuẩn bị sẵn sàng cho những tình huống xấu nhất. Chúng tôi bọc bộ phận gia nhiệt trong lớp vỏ thủy tinh có độ tinh khiết cao. Điều này giúp giữ cho các wafer luôn sạch sẽ.
Một mẹo nhỏ: hãy tuân thủ các thông số điện áp được khuyến nghị. Việc tăng điện áp quá mức có thể khiến bóng đèn bị hư hại nhanh chóng.
Những hy sinh cần chấp nhận
Điều đáng buồn là những lớp vỏ bảo vệ này sẽ làm tăng khối lượng nhiệt của bóng đèn. Do đó, thời gian khởi động và dừng hoạt động của bóng đèn sẽ chậm hơn so với bóng đèn thông thường. Bạn cần điều chỉnh các thông số PID để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.
Đó là cái giá nhỏ cần trả để đảm bảo sản phẩm không bị hư hại do lỗi của bóng đèn.