Ngăn chặn tình trạng đèn bị nổ, gây hư hại cho các wafer
Trong dây chuyền sản xuất với công suất lớn, việc đèn bị nổ quả là một tai họa khủng khiếp. Điều này không chỉ khiến máy móc phải ngừng hoạt động một thời gian, mà còn gây ra nhiều rối loạn trong quy trình sản xuất. Khi ống thủy tinh chứa đèn bị nổ, những mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ rơi xuống các wafer. Chỉ cần một lần nổ như vậy thôi, toàn bộ lô sản phẩm đều bị hỏng. Sau đó, người ta phải dành thời gian để làm sạch toàn bộ buồng sản xuất – một công việc mà ai cũng muốn tránh. Chúng tôi thiết kế các bộ điều khiển kỹ thuật số và hệ thống đèn sao cho điều này không xảy ra.
Giữ cho mọi thứ ở trạng thái ổn định
Hầu hết các trường hợp đèn bị nổ là do tác động của nhiệt độ cao. Nếu áp dụng điện áp cao vào đèn, ống thủy tinh sẽ giãn nở quá nhanh và bị nứt. Điều này giống như việc đổ nước sôi vào chiếc cốc lạnh vậy. Chúng tôi sử dụng bộ điều khiển kỹ thuật số để điều chỉnh dòng điện một cách từ từ, nhằm tránh tình trạng nhiệt độ quá cao. Chúng tôi cũng sử dụng ống thủy tinh có chất lượng cao, vì chúng có khả năng chịu được áp lực nhiệt lớn hơn so với loại ống rẻ tiền. Nhưng nếu dùng điện áp cao với ống thủy tinh ngắn, áp lực lên các bộ phận kết nối sẽ rất lớn. Do đó, cần duy trì dòng khí luôn ổn định. Nếu một phần của ống thủy tinh bị làm lạnh nhanh hơn phần còn lại, sẽ tạo ra điểm căng thẳng, và đó chính là nguyên nhân khiến đèn bị nổ.
Ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn
Nếu ống thủy tinh bị hỏng – vì những sự cố không mong muốn – chúng ta không thể chỉ trông chờ vào may mắn. Chúng tôi sử dụng các lớp bảo vệ vật lý và vỏ bọc chuyên dụng để ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn. Nếu có gì đó bị hỏng, các mảnh vỡ sẽ ở yên tại chỗ, không rơi xuống các wafer. Về mặt điện, chúng tôi sử dụng các连接器 chất lượng cao để ngăn chặn hiện tượng arcs. Hiện tượng arcs là một nguyên nhân gây hại lớn – nó tạo ra những hạt vi mô bay vào khu vực sản xuất. Bằng cách kiểm soát chặt chẽ các kết nối và sử dụng mô hình PID chính xác, nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định. Điều này giúp đèn không phải “tìm kiếm” mức nhiệt phù hợp, từ đó tránh được tình trạng đèn bị nổ.