Trong khu vực sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ không được hiển thị qua đèn báo động. Thay vào đó, nó thể hiện qua tỷ lệ sản phẩm bị hỏng và sự biến động trong quá trình kiểm soát độ dày lớp phim quang học. Các bóng đèn Mattson RTP được thiết kế để giúp duy trì nhiệt độ trong các bước sấy khô và xử lý lớp phim quang học ở mức cần thiết.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn huỳnh quang sóng ngắn, có vỏ bằng thạch anh; chúng được điều chỉnh để hoạt động ổn định và có khả năng duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên các tấm wafer ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình xử lý. Ngoài ra, các bóng đèn này còn giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong hàng nghìn giờ sử dụng – chúng tôi đã có những bóng đèn hoạt động hơn 5.000 giờ mà mức độ suy giảm năng suất chỉ dưới 5%. Vì chúng không tạo ra các hạt bụi khi hoạt động, nên lượng bụi trong phòng sạch vẫn nằm trong mức cho phép (Class 1–100).
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn quang học? Trong quy trình in ấn quang học, chúng ta cần quá trình sấy khô hiệu quả để loại bỏ chất lỏng dư thừa, đồng thời cần quá trình xử lý lớp phim quang học một cách chính xác để tránh sự sai lệch về độ dày lớp phim. Các bóng đèn này giúp đảm bảo tính lặp lại cao trong quá trình xử lý, đồng thời giúp sấy khô tấm wafer một cách nhanh chóng và đồng đều. Kết quả là số lượng sản phẩm bị hỏng giảm, chi phí tái xử lý giảm, và mức tiêu thụ năng lượng mỗi lần sản xuất cũng giảm nhờ vào khả năng truyền nhiệt hiệu quả và khả năng duy trì nhiệt độ ổn định.
Những chi tiết cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng cần phải kiểm tra lại vị trí lắp đặt của bóng đèn và độ căn chỉnh của các bộ phận phản xạ ánh sáng. Việc lắp đặt sai có thể gây ra những vùng nóng cục bộ và sự thay đổi nhiệt độ. Hãy đảm bảo rằng konektor, điện áp và hệ thống làm mát phù hợp với điều kiện của buồng sản xuất. Nên lập lịch kiểm tra quang học định kỳ. Việc phát hiện sớm tình trạng hỏng hóc của bóng đèn giúp tránh những rủi ro trong quá trình sản xuất.