Giữ cho các wafer ở nhiệt độ ổn định: Sự thật về các bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại
Nếu bạn đang vận hành một nhà máy sản xuất chip bán dẫn hiện đại, bạn chắc hẳn đã biết rằng việc giữ cho các wafer ở nhiệt độ ổn định trong quá trình chúng di chuyển là điều cực kỳ quan trọng. Nhưng việc này lại khá khó khăn khi thực hiện trong phòng sạch.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại. Ưu điểm của sóng hồng ngoại là nó tạo ra nhiệt thông qua bức xạ. Bạn không cần phải thổi luồng không khí nóng – điều này có thể gây ra sự tích tụ của các hạt bụi và làm hỏng môi trường trong phòng sạch. Sóng hồng ngoại hoạt động một cách hiệu quả.
Kiểm soát thông minh (không gây phiền toái)
Chất lượng của thiết bị phụ thuộc vào khả năng kiểm soát của bộ điều khiển. Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại sao cho chúng có thể được kết nối trực tiếp với hệ thống PLC hiện có của bạn.
Vì chúng ta sử dụng các bộ phát sóng hồng ngoại tần số cao, nên thời gian phản ứng của chúng rất nhanh. Chúng có thể làm nóng hoặc làm lạnh ngay lập tức. Điều này giúp bạn có thể điều chỉnh nhiệt độ theo từng thời điểm cụ thể, tùy thuộc vào vị trí của xe đựng wafer hoặc yêu cầu của từng lô wafer.
Ngoài ra, bạn còn có thể theo dõi lượng năng lượng được sử dụng cho từng lô wafer. Như vậy, chi phí sưởi ấm không còn chỉ là một khoản chi phí thông thường nữa, mà còn là dữ liệu quan trọng giúp bạn tối ưu hóa quy trình sản xuất.
Chi tiết về việc tạo nhiệt
Trong phòng sạch, diện tích luôn bị hạn chế. Để giải quyết vấn đề này, chúng tôi sử dụng các linh kiện bằng thạch anh có mật độ cao. Vì đây là nhiệt do bức xạ tạo ra, nên bạn có thể đặt các linh kiện này gần vật được sưởi hơn. Bạn không cần lo lắng về hiện tượng “quá nóng” như khi sử dụng các bộ sưởi truyền thống.
Tuy nhiên, bạn cũng cần chú ý đến mật độ công suất. Các bóng đèn công suất cao có thể làm nóng nhanh, nhưng chúng tiêu tốt nhiều năng lượng. Nếu bạn sử dụng hệ thống có công suất cao, hãy đảm bảo rằng dây dẫn và connector có thể chịu được dòng điện đó. Nếu không, bạn sẽ gặp vấn đề về điện áp, và điều này sẽ khiến việc sưởi ấm không đồng đều. Không ai muốn điều đó xảy ra cả.
Giữ cho môi trường sạch sẽ
Trong nhà máy sản xuất chip bán dẫn, sự ô nhiễm là kẻ thù lớn nhất. Chúng tôi bọc tất cả các linh kiện trong các vỏ thạch anh kín để tránh sự tích tụ của bụi bẩn. Chúng tôi cũng đảm bảo rằng các linh kiện này dễ được làm sạch và có thể chịu được các chất hóa học dùng để khử trùng. Đây là một giải pháp đơn giản, nhưng nó giúp đảm bảo rằng việc giữ cho các wafer ở nhiệt độ ổn định không gây ảnh hưởng xấu đến chất lượng sản phẩm.