لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنا صرف ایک اختیاری عمل نہیں، بلکہ یہ پروڈکشن کے لحاظ سے بہت اہم ہے۔ اگر سافٹ بیک کے دوران درجہ حرارت میں تغیر ہو جائے، یا ہارڈ بیک کے دوران درجہ حرارت یکساں نہ رہے، تو اس سے پروڈکشن میں غلطیاں پیدا ہوتی ہیں، اور ویفرز بیکار ہو جاتے ہیں۔ جب اوون کی لیمپیں پورے بیچ میں یکساں درجہ حرارت فراہم نہ کر سکیں، تو پورا عمل ناکام ہو جاتا ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم اپنے لیتھوگرافی اوونوں میں شارٹ-ویو ہیلوجن اور NIR-آپٹیمائزڈ کوارٹز عناصر استعمال کرتے ہیں۔ اس سے تیز تر حرارتی ردِعمل اور مستقل ریڈیante پاور حاصل ہوتی ہے۔ یہ سسٹم ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی حد میں یکساں درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، اور ہر بار ایک ہی معیار کو برقرار رکھتا ہے۔
لیمپ ماڈیول کو کلین روم کلاس 1–100 کے ماحول میں استعمال کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے؛ اس میں ایسے مواد اور سیلز استعمال کئے گئے ہیں جو ذرات کی پیداوار کو صفر تک کم کرتے ہیں۔ یہ یونٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ وقت تک کام کرتے رہے، اور ان کی پاور میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوئی۔
یہ کیوں اہم ہے؟
یہ لیمپ جدید فوٹوریزسٹ سسٹموں کے لئے ضروری حرارتی کنٹرول فراہم کرتا ہے۔ سافٹ بیک کے عمل میں یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور ہارڈ بیک سے ویفروں پر مطلوبہ چپکنے کی خصوصیات حاصل ہوتی ہیں۔ اس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، خرابیوں کی شرح کم ہو جاتی ہے، اور ہر بار کم توانائی صرف ہوتی ہے۔
پیکیجنگ لائنوں میں کیا فائدہ؟
ویفروں کی پروسیسنگ کے دوران، یہی درستگی فلموں کو مناسب طریقے سے خشک کرنے میں مدد کرتی ہے، تاکہ ویفروں پر کوئی تغیّر نہ آئے۔
خریدنے سے پہلے کیا توجہ دینی چاہیے؟
تنصیب کے دوران اوون کے ڈھانچے اور ریفلیکٹر کے ڈھانچے کو مناسب طریقے سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ صرف اسی صورت میں لیمپ مناسب کوارٹز سلیو اور ماؤنٹنگ ہارڈویئر کے ساتھ استعمال کیا جا سکتا ہے۔
جب بیکنگ کے طریقوں میں تبدیلی کی جاتی ہے، تو حرارتی استحکام کے لئے کچھ وقت درکار ہوتا ہے؛ لہذا ±0.1°C کی یکسانیت کو برقرار رکھنے کے لئے کیلیبریشن کے انتظامات ضروری ہیں۔ خریدنے سے پہلے اپنے اوون کنٹرولر کی سازگاری کی جانچ ضرور کریں۔