http://ir-heating-hub.com/uk/tags/%D0%BE%D0%BA%D0%B8%D1%81%D0%BD%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D1%8F/ Recent content in Окиснення on The Infrared Heating Hub Hugo uk Tue, 23 Jun 2026 01:17:11 +0800 http://ir-heating-hub.com/uk/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Tue, 23 Jun 2026 01:17:11 +0800 http://ir-heating-hub.com/uk/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Елемент нагріву для оксидування ваферів"></p> <p>У процесі оксидування термальний бюджет є обов’язковою умовою – це межа, яку не можна перетинати. Навіть незначне зміщення температури під час процесу оксидування, або різниця температур у різних частинах печі, швидко призводять до зменшення товщини шару, зміни ширини ліній та погіршення якості продукту. Це призводить до збитків у вигляді зниження продуктивності обладнання та використання більшої кількості матеріалів для фотополімеризації. Тож потрібен елемент нагріву, який буде строго дотримуватися заданої температури, навіть коли змінюються параметри процесу та у чистій кімнаті підтримується певний тиск.</p>