На поверхні кам’яної підлоги вісківка виходить з процедури промивання та потрапляє на етап сушіння. Одна точка з високою температурою чи непостійна температура можуть призвести до пошкодження структури фотополімеру. Ми розробили спеціальний нагрівач для сушіння вісківок, щоб уникнути цього – адже в цій галузі не дозволяється робити винятки.
Що є важливим у конструкції нагрівача
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне випромінювання з кварц-галогеновими емітерами. Це дозволяє отримати швидке та направлене нагрівання з мінімальною затримкою. Рівномірність температури на всій поверхні вісківки підтримується на рівні ±0,1°C, а точність регулювання температури – на рівні ±0,5°C. Таким чином, кожна процедура сушіння відбувається точно відповідно до рецептури. Конструкція нагрівача також передбачає використання матеріалів, які захищають від впливу пилу, що дозволяє йому функціонувати в умовах класу чистоти 1–100. Нагрівач забезпечує стабільну продуктивність протягом усього часу; дані з поля показують, що між регулярним технічним обслуговуванням проходить понад 5 000 годин без жодних перерв у роботі через проблеми з нагрівачем.
Чому цей нагрівач корисний для MEMS-технологій
У технологіях MEMS сушіння – це не лише видалення води. Це також захист структури компонентів до та після процедури обробки. Цей нагрівач швидко сушить вісківку без перегріву, тож структура фотополімеру залишається недоторканою, що зменшує кількість необхідних корекцій. Точний контроль температури також допомагає зменшити теплові втрати, що захищає делікатні шари та дозволяє точно контролювати розміри компонентів. У результаті менше дефектів, вищий рівень успішності первинної обробки та стабільні терміни виконання процедур. Крім того, завдяки ефективним емітерам та точному розподілу тепла, ми зменшуємо кількість втрат тепла в камері, що призводить до зниження енергоспоживання.
Що потрібно враховувати під час встановлення
Необхідно врахувати механічні характеристики пристрою та параметри охолоджувальної рідини. Ми надаємо креслення та інформацію про роз’єми, але саме ви повинні перевірити швидкість потоку охолоджувальної рідини та температуру її подачі – інакше існує ризик перегріву. Нагрівач працює найкраще, коли тиск у камері та склад газу залишаються в заданих межах. Під час інтеграції необхідно провести короткий тест на стабільність температури. Це дозволяє переконатися у рівномірності нагрівання та точно визначити параметри сушіння для конкретної вісківки.