Isıtma sisteminin sınırına ulaştığında waferlerin kirlenmesini nasıl engelleriz?
Bir yarı iletken üretim tesisinde, bir lambanın patlaması sadece bir sorun veya küçük bir arızadan ibaret değildir; bu bir kabustur. Kuvars tüpü aşırı yük altında patladığında, sadece çalışmayı bırakmakla kalmaz; aynı zamanda waferleri parçalara ve parçacıklara dönüştürür.
Bu tür durumların yaşanmasını önlemek için UHP ısıtıcı lambalarını geliştirdik.
Patlamayı engellemenin sırrı
İşe sentetik kaynaklanmış silika kullanarak başlıyoruz. Bu malzeme son derece saf olup (%99,99’dan fazla), bu sayede hızlı ısınma/soğuma süreçlerinde meydana gelebilecek mikro çatlakları önleyebilir.
Çoğu zaman arıza, elektrotların kuvarsa temas ettiği noktada meydana gelir. Bu bölgeleri güçlendirdik ki, halojen döngüsü sırasında oluşan iç basınç bile olsa bile bu bölgeler sağlam kalabilsin.
Ayrıca filamanın konumu da çok önemlidir. Tungsten filamanın merkezi milimetreler hassasiyetiyle belirlenir. Neden mi? Çünkü eğer hafifçe saparsa, tüp duvarında sıcak noktalar oluşur. Bu da kuvarsu zayıflatır. Doğru yerleştirme sayesinde ısı eşit dağılır ve tüp sağlam kalır.
Kirliliğin kontrol altında tutulması
En iyi malzemeler kullanılsa bile, en kötü durumu göz önünde bulundurmak zorundayız. Isıtma elemanını yüksek saflıkta kuvars kılıf veya koruyucu kaplama ile sarıyoruz. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünebilirsiniz. Eğer içerideki lamba patlarsa, bu kılıf cam ve gazları tutar. Böylece waferleriniz temiz kalır ve üretiminiz zarar görmez.
Bir ipucu: Lütfen belirtilen voltaj değerlerine uyun. Daha fazla ısı elde etmek için lambaya aşırı voltaj uygulamak cazip gelebilir, ancak bu risklidir. Bu durum filamanın zarar görmesine ve lambanın patlamasına neden olur.
Tercihler
Dürüst olmak gerekirse, bu koruyucu kaplamalar bir miktar termal kütle ekler. Bu yüzden, lambanın başlangıç ve durdurulma süreleri, sadece lamba kullanıldığında olduğundan biraz daha yavaş olacaktır. Sıcaklık kontrolünü sağlamak için PID ayarlarınızı düzenlemeniz gerekebilir.
Bu, ödenmesi gereken küçük bir bedeldir. Bir lambanın bozulması yüzünden tüm üretimin boşa gitmesinden iyidir.