Litografi işlemlerinde, foto-resistin pişirilmesi sadece isteğe bağlı bir işlem değildir; bu işlem, ürün kalitesini belirleyen kritik bir faktördür. Eğer yumuşak pişirme sıcaklığı düzgün olmazsa ya da sert pişirme işlemi düzgün şekilde gerçekleşmezse, boyut hataları ve kalitesiz ürünler ortaya çıkar. Fırının lambası, üretim hacmi boyunca termal dengeyi sağlayamazsa, işlem verimliliği düşer.
Önemli olan detaylar
Litografi fırınlarımızda kısa dalga boylu halojen ve NIR optimizasyonlu kuvars elemanlar kullanılır. Böylece hızlı termal tepki ve sabit radyasyon çıkışı elde edilir. Sistem, pişirme bölgesinde ±0,1°C’lik termal dengeyi sağlayacak şekilde ayarlanmıştır. Ayrıca, her işlem sonrasında kritik ölçülerin standardlarda kalması sağlanır.
Lamba modülleri, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında çalışacak şekilde tasarlanmıştır. Kullanılan malzemeler ve contalar sayesinde parça oluşumu engellenir. Bu cihazlar 5.000 saatten fazla süre çalışabilmiştir ve çıkış verimi %5’in altına düşmemiştir. Böylece plansız duruşlar meydana gelmez.
Neden önemli?
Bu lamba, modern foto-resist sistemlerinin gerektirdiği termal kontrolü sağlar. Yumuşak pişirme işlemleri tekrarlanabilir hale gelir, çözücü uzaklaştırma işlemi düzenli olur ve sert pişirme işlemi de gerekli yapışma gücünü ve profil stabilitesini sağlar. Böylece daha az yeniden işlem gerektirir, hata oranları düşer ve her pişirme döngüsünde daha az enerji tüketilir.
Wafer seviyesinde işlemler yapılan paketleme hatlarında da aynı hassasiyet sayesinde filmin kuruması düzenli olur ve waferlerde deformasyon olmaz.
Sipariş vermeden önce dikkat edilmesi gerekenler
Montaj işlemi, fırın odasının ve yansıtıcıların geometrisine uyum sağlamakla ilgilidir. Lamba, doğru kuvars kılıfı ve montaj donanımlarıyla birlikte kullanıldığında istenen çıkış verimi elde edilir.
Pişirme parametrelerinde değişiklik yaptıktan sonra kısa bir termal stabilizasyon süresi beklenmelidir. ±0,1°C’lik dengeyi korumak için kalibrasyon aralıkları planlanmalıdır. Satın almadan önce fırın kontrolörünün uyumluluğunu mutlaka kontrol edin.