Wafları Sıcak Tutmak: IR Isıtıcılar Hakkındaki Gerçekler
Eğer modern bir yarı iletken üretim tesisleri işletiyorsanız, bu konuyu zaten biliyorsunuzdur. Wafların hareket halindeyken termal olarak stabil kalmasını sağlamak şarttır. Ancak bunu temiz oda ortamında gerçekleştirmek biraz zordur.
İşte bu yüzden taşıma arabaları için kızılötesi (IR) sistemlerini kullanıyoruz. Kızılötesi ısıtıcıların avantajı, radyant ısı üretmesidir. Yani sıcak hava üflemek zorunda kalmazsınız; bu da parçacıkların yayılmasına ve ortamın bozulmasına neden olur. Kızılötesi ısıtıcılar ise böyle bir soruna yol açmaz.
Akıllı Kontrol (Sorunsuz)
Donanımın performansı, onu kontrol eden yazılıma bağlıdır. Bu IR sistemlerini mevcut PLC devrelerine kolayca entegre edebilecek şekilde tasarladık. Kısa dalga boyundaki kızılötesi ısıtıcılar sayesinde tepki süresi son derece hızlıdır. Isıtma ve soğutma işlemleri neredeyse anında gerçekleşir. Böylece taşıma aracının bulunduğu konuma veya belirli bir wafer grubunun ihtiyaçlarına göre sıcaklığı ayarlayabilirsiniz. Ayrıca, her bir parti için ne kadar enerji kullanıldığını da takip edebilirsiniz. Böylece ısıtma maliyetleri sadece bir maliyet olmaktan çıkıp, üretimi daha verimli hale getirmek için kullanılabilir bir veri haline gelir.
Isının Detayları
Temiz oda ortamında alan her zaman sınırlıdır. Bu sorunu çözmek için yüksek yoğunluklu kuvars elemanlar kullanıyoruz. Radyant ısı olduğu için bu elemanları yükün çok yakınına yerleştirebilirsiniz. Eski tip dirençli ısıtıcıların yol açtığı “aşırı ısınma” sorunuyla uğraşmanıza gerek yoktur. Ancak bir tavsiye: Güç yoğunluğunuza dikkat edin. Yüksek güçlü lambalar işi hızlıca halleder, ancak çok fazla enerji tüketirler. Yüksek çıkışlı bir sistem kullanıyorsanız, kablolarınızın ve konektörlerinizin bu akımı karşılayabileceğinden emin olun. Aksi takdirde voltaj düşüşleri olur ve bu da taşıma aracındaki eşitsiz ısı dağılımına yol açar. Kimse bunu istemez.
Temizi Korumak
Bir üretim tesisinde kirlilik en büyük düşmandır. Her şeyi kapalı kuvars kapsüller içinde saklarız; böylece parçacıkların çalışma alanınıza yayılmasından endişelenmenize gerek kalmaz. Ayrıca donanımın kolayca temizlenebilir olmasına ve dezenfeksiyon için kullanılan kimyasallara dayanabilmesine de özen gösterdik. Bu basit bir çözüm olsa da, wafları sıcak tutmanın verimliliği bozmasını engeller.