MEMS on The Infrared Heating Hub

เครื่องอบแห้งวัสดุสำหรับเซ็นเซอร์ MEMS

Fri, 17 Jul 2026 08:07:38 +0800

ทำไมเราถึงใช้วิธีการอบด้วยรังสีอินฟราเรดสำหรับชิ้นส่วนที่ปราศจากตะกั่ว
เมื่อคุณพยายามทำให้แผ่นวงจร MEMS แห้ง คุณจะพบกับปัญหาที่ยากลำบาก เพราะคุณต้องกำจัดน้ำและสารละลายให้หมดสิ้น โดยไม่ให้มีสารตกค้างเหลืออยู่เลย และคุณก็ไม่สามารถใช้ความร้อนมากเกินไปได้ เพราะนั่นจะทำให้ชิ้นส่วนเสียหายได้

นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้วิธีการอบด้วยรังสีอินฟราเรด แทนการใช้เตาอบที่ใช้ความร้อนในการอบ วิธีนี้จะส่งพลังงานเข้าไปยังวัสดุโดยตรง ไม่มีการใช้ลมร้อน และไม่มีสารเคมีที่ก่อให้เกิดมลพิษ

ความพิเศษของการอบด้วยรังสีอินฟราเรด
การอบแบบดั้งเดิมนั้นใช้เวลานาน แต่การอบด้วยรังสีอินฟราเรดนั้นรวดเร็วมาก หลอดไฟชนิดนี้จะปล่อยรังสีคลื่นสั้นออกมา ซึ่งจะทำให้โมเลกุลของน้ำกระตุ้นและแห้งได้อย่างรวดเร็ว

ข้อดีอีกอย่างคือ วิธีนี้จะช่วยป้องกันปัญหา “การแห้งเร็วเกินไป” ซึ่งทำให้ชั้นบนแห้งเร็วเกินไป และทำให้มีน้ำค้างอยู่ด้านล่าง นอกจากนี้ เนื่องจากความร้อนถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการเท่านั้น ส่วนอื่นๆ ของห้องก็ยังคงเย็นอยู่ ดังนั้นค่าไฟของคุณก็จะลดลงด้วย

การรักษาความสะอาดและความเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม
อุตสาหกรรมต่างๆ กำลังเลิกใช้สารเคมีที่มีตะกั่ว และสารทำความสะอาดที่มีฮาโลเจน การอบด้วยรังสีอินฟราเรดจึงเหมาะสมกับแนวโน้มนี้ เพราะเป็นวิธีการอบที่ไม่ใช้สารเคมีเลย

คุณไม่จำเป็นต้องใช้สารเคมีหรือเผาไหม้สารเคมีเพื่อให้เกิดความร้อน แต่เป็นเพียงการแปลงพลังงานไฟฟ้าให้เป็นพลังงานรังสีเท่านั้น สำหรับผู้ที่ทำงานในห้องปลอดเชื้อ นี่ถือเป็นข้อดีอย่างมาก เพราะไม่มีความเสี่ยงในการปนเปื้อนเลย

การหาจุดสมดุล
แม้ว่าวิธีนี้จะดี แต่ก็ยังมีข้อจำกัดอยู่ คุณต้องระมัดระวังในการใช้ความร้อน หากใช้พลังงานมากเกินไป ก็อาจทำให้แผ่นวงจรเสียหายได้ ดังนั้นคุณต้องหาจุดสมดุลระหว่างกำลังไฟฟ้ากับความเร็วในการเคลื่อนที่ของแผ่นวงจร

โดยปกติแล้ว เรามักจะใช้ตัวควบคุม PID เพื่อให้อุณหภูมิไม่สูงเกินไป หากไม่มีการควบคุมแรงดันไฟฟ้าอย่างเหมาะสม แผ่นวงจรก็อาจร้อนเกินไปได้

เคล็ดลับเพิ่มเติม: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าพัดลมระบายความร้อนสามารถดูดความร้อนออกจากตัวหลอดไฟได้จริง หากคุณต้องการให้เครื่องทำงานตลอด 24 ชั่วโมง นี่คือวิธีเดียวที่จะป้องกันไม่ให้สายไฟละลายได้

เครื่องทำความร้อนสำหรับการอบแห้งแผ่น MEMS

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

บนพื้นผิวที่เป็นหินนั้น แผ่นวีเฟอร์จะถูกนำออกมาจากขั้นตอนล้างน้ำ และเข้าสู่ขั้นตอนการอบให้แห้ง หากมีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป หรือมีความผันผวนของอุณหภูมิ รูปร่างของวัสดุโฟโตรีซิสต์ก็อาจเสียหายได้ เราจึงออกแบบเครื่องอบแผ่นวีเฟอร์สำหรับ MEMS ขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดปัญหาดังกล่าวขึ้น เพราะในอุตสาหกรรมนี้ ไม่มีที่ว่างสำหรับข้อยกเว้นเลย

สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมเครื่องกำเนิดความร้อนแบบควอตซ์-ฮาโลเจน ซึ่งช่วยให้เกิดความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีความล่าช้าทางอุณหภูมิน้อยมาก อุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นวีเฟอร์จะถูกควบคุมไว้ที่ ±0.1°C และความแม่นยำของอุณหภูมิจะอยู่ที่ ±0.5°C ดังนั้น การอบแต่ละครั้งจึงสามารถทำได้อย่างแม่นยำตามขั้นตอนที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ การออกแบบเครื่องยังคำนึงถึงสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัยด้วย โดยมีวัสดุที่ช่วยป้องกันความร้อนบนตัวเครื่อง และมีระบบไหลเวียนอากาศที่ช่วยลดการปล่อยอนุภาคต่างๆ ออกมา ดังนั้นเครื่องนี้จึงสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 ได้ เครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดเวลา โดยมีข้อมูลการใช้งานแสดงให้เห็นว่าสามารถใช้งานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้เลย

เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับ MEMS
ใน MEMS การอบแผ่นวีเฟอร์ไม่ใช่เพียงแค่การกำจัดน้ำออกเท่านั้น แต่ยังเป็นการปกป้องคุณภาพของวัสดุก่อนและหลังการพัฒนาด้วย เครื่องอบนี้ช่วยให้แผ่นวีเฟอร์แห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีความร้อนสูงเกินไป ดังนั้นรูปร่างของวัสดุโฟโตรีซิสต์จึงยังคงสมบูรณ์ และลดโอกาสที่จะต้องทำการแก้ไขอีกครั้ง นอกจากนี้ การควบคุมอุณหภูมิที่ดียังช่วยลดการใช้พลังงานลงอีกด้วย

สิ่งที่ต้องคำนึงถึงขณะติดตั้ง
คุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าขนาดของเครื่องและคุณสมบัติของน้ำที่ใช้ในการทำความเย็นเหมาะสม ทางเรามีแบบรูปขนาดและข้อมูลเกี่ยวกับการเชื่อมต่อต่างๆ ให้ แต่คุณต้องตรวจสอบอัตราการไหลของน้ำและอุณหภูมิของน้ำด้วยตัวเอง มิฉะนั้นอาจเกิดปัญหาอุณหภูมิสูงเกินได้ เครื่องอบนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อความดันและองค์ประกอบของก๊าซอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ในระหว่างการติดตั้ง ควรมีการทดสอบอุณหภูมิสั้นๆ เพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ และเพื่อให้แน่ใจว่าการอบสามารถทำได้อย่างแม่นยำตามขั้นตอนที่กำหนดไว้