วีเฟอร์ on The Infrared Heating Hub

เครื่องทำความร้อนสำหรับการอบแห้งแผ่น MEMS

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

บนพื้นผิวที่เป็นหินนั้น แผ่นวีเฟอร์จะถูกนำออกมาจากขั้นตอนล้างน้ำ และเข้าสู่ขั้นตอนการอบให้แห้ง หากมีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป หรือมีความผันผวนของอุณหภูมิ รูปร่างของวัสดุโฟโตรีซิสต์ก็อาจเสียหายได้ เราจึงออกแบบเครื่องอบแผ่นวีเฟอร์สำหรับ MEMS ขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดปัญหาดังกล่าวขึ้น เพราะในอุตสาหกรรมนี้ ไม่มีที่ว่างสำหรับข้อยกเว้นเลย

สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมเครื่องกำเนิดความร้อนแบบควอตซ์-ฮาโลเจน ซึ่งช่วยให้เกิดความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีความล่าช้าทางอุณหภูมิน้อยมาก อุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นวีเฟอร์จะถูกควบคุมไว้ที่ ±0.1°C และความแม่นยำของอุณหภูมิจะอยู่ที่ ±0.5°C ดังนั้น การอบแต่ละครั้งจึงสามารถทำได้อย่างแม่นยำตามขั้นตอนที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ การออกแบบเครื่องยังคำนึงถึงสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัยด้วย โดยมีวัสดุที่ช่วยป้องกันความร้อนบนตัวเครื่อง และมีระบบไหลเวียนอากาศที่ช่วยลดการปล่อยอนุภาคต่างๆ ออกมา ดังนั้นเครื่องนี้จึงสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 ได้ เครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดเวลา โดยมีข้อมูลการใช้งานแสดงให้เห็นว่าสามารถใช้งานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้เลย

เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับ MEMS
ใน MEMS การอบแผ่นวีเฟอร์ไม่ใช่เพียงแค่การกำจัดน้ำออกเท่านั้น แต่ยังเป็นการปกป้องคุณภาพของวัสดุก่อนและหลังการพัฒนาด้วย เครื่องอบนี้ช่วยให้แผ่นวีเฟอร์แห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีความร้อนสูงเกินไป ดังนั้นรูปร่างของวัสดุโฟโตรีซิสต์จึงยังคงสมบูรณ์ และลดโอกาสที่จะต้องทำการแก้ไขอีกครั้ง นอกจากนี้ การควบคุมอุณหภูมิที่ดียังช่วยลดการใช้พลังงานลงอีกด้วย

สิ่งที่ต้องคำนึงถึงขณะติดตั้ง
คุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าขนาดของเครื่องและคุณสมบัติของน้ำที่ใช้ในการทำความเย็นเหมาะสม ทางเรามีแบบรูปขนาดและข้อมูลเกี่ยวกับการเชื่อมต่อต่างๆ ให้ แต่คุณต้องตรวจสอบอัตราการไหลของน้ำและอุณหภูมิของน้ำด้วยตัวเอง มิฉะนั้นอาจเกิดปัญหาอุณหภูมิสูงเกินได้ เครื่องอบนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อความดันและองค์ประกอบของก๊าซอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ในระหว่างการติดตั้ง ควรมีการทดสอบอุณหภูมิสั้นๆ เพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ และเพื่อให้แน่ใจว่าการอบสามารถทำได้อย่างแม่นยำตามขั้นตอนที่กำหนดไว้

องค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อนเพื่อการออกซิเดชันของแผ่นละเอียด

Tue, 23 Jun 2026 01:17:11 +0800

ในกระบวนการผลิต ค่าพลังงานที่ใช้ในการอุ่นวัสดุไม่ใช่เรื่องที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามใจชอบ แต่เป็นค่าที่ห้ามเกินเด็ดขาด หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียงครึ่งองศาในระหว่างกระบวนการออกซิเดชัน หรือหากบริเวณหนึ่งของวัสดุมีอุณหภูมิสูงเกินไป ในขณะที่อีกบริเวณหนึ่งมีอุณหภูมิต่ำเกินไป ก็จะส่งผลให้ความหนาของวัสดุลดลง ความกว้างของเส้นที่ใช้ในการผลิตเปลี่ยนแปลงไป และอัตราการผลิตก็จะลดลงด้วย คุณจะต้องจ่ายค่าใช้จ่ายเพิ่มเติมในส่วนของเวลาการทำงานของเครื่องจักร และวัสดุที่ใช้ในการผลิตด้วย สิ่งที่คุณต้องการคือองค์ประกอบที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ แม้ว่าสภาพแวดล้อมจะเปลี่ยนแปลงไป และห้องปลอดภัยจะมีแรงดันสูงก็ตาม

สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบองค์ประกอบสำหรับการอุ่นวัสดุโดยใช้หลอดไฟควอตซ์-ฮาโลเจนที่มีความสามารถในการตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว โดยมีการปรับแต่งให้สามารถส่งพลังงานในระยะคลื่นสั้นและระยะคลื่นกลางได้อย่างเหมาะสม เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ดังนั้นอุณหภูมิจึงจะสามารถคงที่ได้อย่างรวดเร็วหลังจากการปรับแต่งค่าต่างๆ ในกระบวนการผลิต ในบริเวณที่มีการอุ่นวัสดุ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยให้ขนาดของวัสดุคงที่ในแต่ละครั้งที่มีการผลิต

องค์ประกอบนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 เราเลือกวัสดุและวิธีการเชื่อมต่อต่างๆ เพื่อลดการเกิดอนุภาคและการปล่อยก๊าซออกมา ในทางปฏิบัติ สิ่งนี้จะช่วยให้มีจำนวนอนุภาคบนวัสดุน้อยลง ลดจำนวนวัสดุที่ต้องทิ้ง และช่วยให้สามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้ดีขึ้น

ทำไมองค์ประกอบนี้ถึงเหมาะสมกับการใช้งานจริง องค์ประกอบนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในเตาออกซิเดชันและโมดูลการอุ่นวัสดุที่อยู่ก่อนขั้นตอนการผลิต ไม่ว่าจะเป็นการอุ่นวัสดุแบบอ่อนหรือแบบแข็ง การควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอจะช่วยให้คุณภาพของวัสดุดีขึ้น ลดการต้องทำงานใหม่ และช่วยปกป้องวัสดุที่ใช้ในการผลิตได้ดีขึ้น ในกระบวนการออกซิเดชัน การควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำจะช่วยให้ความหนาของชั้นออกไซด์คงที่ ซึ่งจะช่วยให้ค่าไฟฟ้ามีความสม่ำเสมอ

การใช้พลังงานก็จะลดลง เพราะหลอดไฟจะส่งพลังงานตามความต้องการเท่านั้น โดยมีการสูญเสียพลังงานในขณะที่เครื่องจักรไม่ได้ทำงานน้อยมาก ส่วนเรื่องความน่าเชื่อถือนั้น เรามีเครื่องจักรที่ทำงานมาแล้วมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงของอัตราการผลิตน้อยกว่า 5% ซึ่งช่วยให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีปัญหา

สิ่งที่ควรระวัง การติดตั้งองค์ประกอบนี้ขึ้นอยู่กับอินเทอร์เฟซของเครื่องจักร โดยต้องมีการปรับแต่งค่าต่างๆ เพื่อให้เหมาะสมกับเครื่องจักร ควรมีเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับแต่งค่า PID เพื่อให้เหมาะสมกับคุณสมบัติของเครื่องจักร

องค์ประกอบนี้สามารถใช้งานได้กับอุปกรณ์ควอตซ์มาตรฐานและสายไฟฟ้าทั่วไป แต่คุณต้องปรับแต่งให้เหมาะสมกับรูปร่างของกระจกสะท้อน เพื่อให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ในระดับที่ต้องการ และแน่นอนว่า แม้ว่าจะมีการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ แต่ก็ยังมีโอกาสที่ค่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงไปเมื่อเวลาผ่านไป ดังนั้นควรมีการตรวจสอบค่าอุณหภูมิเป็นประจำ เพื่อให้กระบวนการผลิตยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด