บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนอุณหภูมิ 1°C ระหว่างการอบ photoresist ไม่ใช่แค่ “การเปลี่ยนแปลงความกว้างเส้น” แต่หมายถึงการเสียของจำนวนมาก...

บนพื้นโรงงาน กระบวนการอบ photoresist ไม่ใช่แค่การ “อุ่นเครื่อง” แต่เป็นจุดหมุนสำคัญที่กำหนดการควบคุมความกว้างเส้น การกระจายตัวของตำหนิ และผลผลิต...