На литографическом столе пластина с фотополимерным слоем выходит из процедуры промывки и переходит на этап сушки. Одна лишняя точка нагрева или небольшое отклонение температуры могут привести к деформации структуры фотополимерного слоя. Мы разработали специальный нагреватель для сушки пластин в технологии MEMS, чтобы предотвратить такие ситуации — ведь в этой области не допускается никаких исключений.
Что важно при работе устройства
Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение от кварцево-галогеновых излучателей. Это позволяет получать быстрый и направленный нагрев с минимальной задержкой. Равномерность температуры по всей поверхности пластины сохраняется на уровне ±0,1°C, а точность установки температуры — на уровне ±0,5°C. Таким образом, каждая процедура сушки выполняется строго согласно заданным параметрам. Устройство разработано таким образом, чтобы функционировать в условиях чистой комнаты: на корпусе нагревателя используются пассивирующие материалы, а система вентиляции спроектирована так, чтобы сводить к минимуму выделение частиц. Благодаря этому устройство может работать в условиях класса cleanliness 1–100. Устройство поддерживает стабильную мощность круглосуточно; согласно данным эксплуатации, время между плановым техническим обслуживанием составляет более 5,000 часов, при этом не возникает никаких неплановых простоев.
Почему это важно в технологии MEMS
В технологии MEMS сушка заключается не только в удалении воды с поверхности пластины. Ещё одной важной задачей является защита структуры пластины до и после процедуры обработки. Наш нагреватель обеспечивает быструю сушку без перегрева, что позволяет сохранить целостность структуры фотополимерного слоя и сокращает количество необходимых корректировок. Точный контроль температуры также помогает сократить энергозатраты, что положительно сказывается на качестве продукции. Кроме того, благодаря эффективным излучателям и точному распределению тепла, в камере сушки тратится меньше энергии.
Что необходимо учитывать при установке
Необходимо соответствовать размерам устройства и характеристикам системы охлаждения. Мы предоставляем чертежи и информацию о интерфейсах, но вы должны самостоятельно проверить скорость потока охлаждающей жидкости и температуру входящего воздуха. В противном случае может возникнуть перегрев. Нагреватель будет работать наилучшим образом, если давление и состав газа в камере будут соответствовать заданным значениям. Во время интеграции необходимо провести кратковременную проверку работы устройства. Это позволит убедиться в равномерности нагрева и точности параметров сушки для конкретной пластины.