Aquecedor para secagem de wafers MEMS

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

No chão de pedra, a placa fotolítica sai da etapa de enxágue e entra na fase de secagem. Qualquer ponto quente ou variação de temperatura pode causar danos ao padrão criado pelo fotoresista. Por isso, desenvolvemos um aquecedor especial para secar as placas MEMS, a fim de evitar que isso aconteça – afinal, nesse tipo de indústria, não se pode permitir exceções.

O que é importante por trás disso tudo Usamos emissores de infravermelho de onda curta com tecnologia de quartzo-halógeno. Isso permite que o calor seja fornecido de forma rápida e direcionada, com mínimo atraso térmico. A uniformidade da temperatura ao longo da placa é mantida em ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de temperatura fica entre ±0,5°C. Assim, cada processo de secagem ocorre exatamente conforme as especificações estabelecidas. O design do equipamento leva em consideração as condições do ambiente limpo: materiais passivados no corpo do aquecedor e um sistema de fluxo de ar projetado para minimizar a liberação de partículas, permitindo que o equipamento funcione em ambientes de classe 1–100. O equipamento mantém sua eficiência constante o tempo todo; os dados de campo mostram que ele consegue funcionar por mais de 5.000 horas sem necessidade de manutenção, sem interrupções não planejadas.

Elemento de aquecimento por oxidação de wafer

Tue, 23 Jun 2026 01:17:10 +0800

Na linha de produção, o “orçamento térmico” não é uma sugestão – é um limite que não pode ser ultrapassado. Uma variação de meio grau durante o processo de oxidação, ou um ambiente de secagem onde um canto fica quente e outro frio, resultam rapidamente em perda de espessura do material, mudanças na largura da linha e redução na qualidade do produto final. Isso acarreta custos adicionais relacionados ao tempo de funcionamento das máquinas e ao uso de materiais como o fotolítico. O que é necessário é um elemento de aquecimento que mantenha a temperatura desejada, mesmo quando os parâmetros do processo mudam e as condições do ambiente de produção se alteram.

Wafers on The Infrared Heating Hub

Aquecedor para secagem de wafers MEMS

Elemento de aquecimento por oxidação de wafer