Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Fri, 17 Jul 2026 08:07:31 +0800

Por que usamos a cura por infravermelhos para semicondutores sem chumbo
Quando se trata de secar as pastilhas dos sensores MEMS, surge um problema complicado: é preciso eliminar até a última gota de umidade e solvente, mas não se pode deixar nenhum resíduo para trás. Além disso, não se pode aplicar calor excessivo às pastilhas, caso contrário, tudo será destruído.

É por isso que optamos pela cura por infravermelhos. Em vez de aquecer todo o ar ao redor, os raios infravermelhos enviam energia diretamente para o substrato. Não há necessidade de fornos convencionais, nem dependência de ar quente, nem uso de catalisadores químicos.

Aquecedor para secagem de wafers MEMS

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

No chão de pedra, a placa fotolítica sai da etapa de enxágue e entra na fase de secagem. Qualquer ponto quente ou variação de temperatura pode causar danos ao padrão criado pelo fotoresista. Por isso, desenvolvemos um aquecedor especial para secar as placas MEMS, a fim de evitar que isso aconteça – afinal, nesse tipo de indústria, não se pode permitir exceções.

O que é importante por trás disso tudo Usamos emissores de infravermelho de onda curta com tecnologia de quartzo-halógeno. Isso permite que o calor seja fornecido de forma rápida e direcionada, com mínimo atraso térmico. A uniformidade da temperatura ao longo da placa é mantida em ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de temperatura fica entre ±0,5°C. Assim, cada processo de secagem ocorre exatamente conforme as especificações estabelecidas. O design do equipamento leva em consideração as condições do ambiente limpo: materiais passivados no corpo do aquecedor e um sistema de fluxo de ar projetado para minimizar a liberação de partículas, permitindo que o equipamento funcione em ambientes de classe 1–100. O equipamento mantém sua eficiência constante o tempo todo; os dados de campo mostram que ele consegue funcionar por mais de 5.000 horas sem necessidade de manutenção, sem interrupções não planejadas.

MEMS on The Infrared Heating Hub

Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Aquecedor para secagem de wafers MEMS