MEMS waferdroogheater

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

Op de stenen vloer komt het wafer uit het spoelproces en gaat het naar het droogproces. Eén plek met te hoge temperatuur of een kleine afwijking in de temperatuur kan er al voor zorgen dat het patroon van de fotorezistent beschadigd raakt. We hebben een speciale verwarmingseenheid ontwikkeld om dit te voorkomen – want in deze branche mag je geen uitzonderingen maken.

Wat belangrijk is bij het drogen We gebruiken kortegolf-infraroodlicht met kwartshalogeenemitter. Dit zorgt voor snelle, gerichte warmteafgifte met minimale vertragingen. De temperatuurovereenstemming over het hele wafer blijft bij ±0,1°C, en de herhaalbaarheid van de instellingen ligt binnen ±0,5°C. Hierdoor wordt elke droogcyclus precies volgens de specificaties uitgevoerd. Het ontwerp van de apparatuur is zo gemaakt dat deze geschikt is voor gebruik in steriele omgevingen: er worden passieve materialen gebruikt op het apparaat en de luchtcirculatie is zo ontworpen dat er nauwelijks deeltjes vrijkomen. Hierdoor kan de apparatuur worden gebruikt in omgevingen met een sterielheidsniveau van 1–100. De apparatuur houdt de uitstoot stabiel, met een gemiddelde levensduur van meer dan 5.000 uur tussen onderhoudsbeurten, zonder onverwachte stilstand.

Wafer on The Infrared Heating Hub

MEMS waferdroogheater