Wafel on The Infrared Heating Hub

Veiligheidsafstand voor waferverwarming

Sat, 25 Jul 2026 05:08:19 +0800

Houd je siliciumwafels schoon wanneer het heet is
In een productieomgeving met hoge volumes kan één defect al je dag verpesten. Als een infraroodbuis kapotgaat, stopt de verwarming niet alleen, maar er vallen ook scherven van kwarts en halogeengas op je siliciumwafels. Het is een nachtmerriescenario dat in een paar seconden hele lagen producten kan vernietigen.

Wij bouwen onze IR-verwarmingssystemen zo dat deze soort problemen nooit kunnen optreden.

Het evenwicht tussen afstand en efficiëntie
Het is verleidelijk om de lampen zo dicht mogelijk bij het substraat te plaatsen, zodat de warmte beter overgedragen wordt. Maar dit heeft ook nadelen: hoe dichter de lampen zijn, hoe groter het risico dat er schade ontstaat aan de wafels.

Reflector voor wafer occlusielamp

Thu, 23 Jul 2026 12:26:47 +0800

Het juist uitvoeren van het drogen van wafers: het geheim zit in de reflectoren

Als je werkt met het drogen van wafers, ken je de uitdagingen. Je hebt precieze thermische gradienteën nodig. Om dit te bereiken, gebruiken we korte- golflengte infraroodlampen in combinatie met zeer specifieke reflectoren.

Het probleem is dat in modernefabrieken iedereen het heeft over ‘data-gebaseerd verwarmen’. Maar dat is een utopie als de energie in alle richtingen wordt verspreid, net zoals bij een kapotte sprinklerinstallatie.

Temperatuursensor voor wafer hulpmiddel

Wed, 22 Jul 2026 05:09:05 +0800

Stop met raden naar de temperatuur van je wafers

Als je een slimme productiefaciliteit wilt opzetten, moet je de oude contactthermocoupons vervangen. Die werken niet meer goed genoeg. Voor het meten van de temperatuur van wafers maken we nu gebruik van hoge-snelheidsinfraroodsenoren. Hierdoor kunnen we in real-time temperatuurgegevens verzamelen, zonder de ondergrond aan te raken.

Als je wilt dat je digitale ‘twin’ overeenkomt met wat er in de echte wereld gebeurt, heb je een constante stroom aan hoogfrequente gegevens nodig. Contactloos meten is de enige manier om dit te bereiken.

Energieefficiënte waferverwarmer

Mon, 20 Jul 2026 12:05:48 +0800

Waarom we overstappen op IR-technologie voor loodvrije chips
De manier waarop we halfgeleiders maken, verandert. We geven steeds meer de voorkeur aan deze nieuwe methode in plaats van de oude, op oplosmiddelen gebaseerde methoden en materialen die lood bevatten. Voor ons betekent dit dat we veel meer gebruik gaan maken van infraroodtechnologie.

Wat is het grote verschil? Met infraroodstraling wordt rechtstreeks de oppervlakte van de chip verwarmd. Stel je eens voor dat je een conventionele oven gebruikt: je moet de lucht in de hele oven verwarmen om het gewenste resultaat te bereiken. Dat is tijdverspilling en kost veel energie. Infraroodlampen sturen de energie juist naar de plekken waar deze nodig is. Het is efficiënter en sneller.

Precisie IR sensor voor wafers

Sun, 19 Jul 2026 17:03:38 +0800

Wanneer een IR-lamp kapotgaat, loopt alles mis

In de wereld van halfgeleiderfabrieken is het kapotgaan van een IR-lamp geen simpele ‘technische storing’ of korte stilstand. Het is een nachtmerrie.

Stel je voor dat de kwartsomhulsing precies op het moment van maximale belasting kapotgaat. Glasdeeltjes en halogeengas vallen rechtstreeks op de wafer. In één klap is je hele lading beschadigd. Het is een chaos en het kost veel geld.

Wij ontwerpen onze sensoren en lampen zodat deze soort problemen nooit kunnen optreden.

MEMS sensorwaferdroogheater

Fri, 17 Jul 2026 08:07:42 +0800

Waarom we infraroodverharding gebruiken voor legeemsemidstandaarden
Wanneer je MEMS-sensorwaferdroogt, kom je bij een lastig probleem. Je moet elk beetje vocht en oplosmiddel verwijderen, maar er mogen geen restanten achterblijven. Bovendien mag de wafer niet te veel worden verhit, anders wordt het geheel verwoest.

Daarom kiezen we voor infraroodverharding. In plaats van de lucht in een oven op te warmen, wordt de energie rechtstreeks in het materiaal gestuurd. Er zijn geen convectieovens nodig, geen afhankelijkheid van hete lucht, en ook geen rommelige chemische katalysatoren.

Goedkope lampbol voor het drogen van wafers

Sat, 04 Jul 2026 12:09:02 +0800

Infraroodlamp voor het drogen van chips: hoge prestaties, zonder hoge prijs

We hebben deze infraroodlamp ontworpen als een eenvoudige vervanging voor de dure geïmporteerde apparaten die je gewend bent te gebruiken. Je krijgt dezelfde prestaties als de duurdere modellen, maar dan zonder de hoge kosten. Het doel is om je kosten te verminderen, zonder dat je concessies moet doen op het gebied van productiekwaliteit.

Kracht en grootte: precies wat je nodig hebt

Voor precisiedroging is het belangrijk om de juiste hitte te hebben. Dat hangt af van de kracht en spanning van de lamp. Deze lamp werkt op 400V en gebruikt 2500W aan energie, over een buis van 300 mm lang. Dat betekent dat er veel hitte wordt geproduceerd in een klein gebied – precies wat nodig is om solventen snel van de chips te halen. Maar let op: deze hoge uitgangsspanning vereist dat het koelsysteem van de machine goed functioneert. Het gaat hier niet om een lamp die je zomaar in een stopcontact kunt steken. Hij heeft zijn eigen speciale hoogspanningscircuit nodig.

Heater voor ondersteuning van laserwafer dicing

Wed, 01 Jul 2026 13:37:41 +0800

Op de productielijn beginnen defecten veroorzaakt door lasersnijden zelden wanneer de laser wordt gebruikt. Ze ontstaan eerder: wanneer het substraat te koud is, oneffen ligt of zich buiten het thermische bereik van de fotoresist bevindt. Dit leidt tot microscheuren, barsten aan de randen en een variabele vorm van de snede per sector. We hebben een heatersysteem ontwikkeld om de temperatuur onder controle te houden, zodat de snede elke keer binnen de vereiste parameters valt.

Oxideringsverhittingselement voor wafer

Tue, 23 Jun 2026 01:17:10 +0800

Op het gebied van thermische budgetten is het geen aanrader om deze grenzen te overschrijden – het zijn juist de grenzen die niet mogen worden overschreden. Een verschil van een halve graad tijdens het oxidatieproces, of wanneer één hoek van het product te heet is en een andere hoek te koel, heeft snel tot gevolg dat de dikte van het product afneemt, de breedte van het product verandert en er minder producten beschikbaar zijn. Hierdoor moet je extra kosten maken voor de productie-uitval en het gebruik van fotorezistentmateriaal. Wat je nodig hebt, is een verwarmingselement dat de ingestelde temperatuur nauwkeurig behoudt, zelfs wanneer de omstandigheden veranderen en de schone ruimte druk uitoefent op het proces.

Snel drogende wafer na spoellamp

Sat, 20 Jun 2026 06:27:57 +0800

Op de productiestage kun je het je niet veroorloven om na het spoelen te wachten. Elke resterende hoeveelheid water zorgt voor het ontstaan van deeltjes en kan leiden tot een verminderde werking van de fotorezuinstof. Hierdoor loop je al risico op verlies aan productie, nog voordat de lithografie zelf begint. De tijd die nodig is om de plaat te drogen, verlengt de productietijd en zorgt bovendien voor meer variabiliteit dan nodig is. We hebben een lamp ontwikkeld die de plaat snel kan drogen, zodat het oppervlak intact blijft.