Op de productielijn beginnen defecten veroorzaakt door lasersnijden zelden wanneer de laser wordt gebruikt. Ze ontstaan eerder: wanneer het substraat te koud is, oneffen ligt of zich buiten het thermische bereik van de fotoresist bevindt. Dit leidt tot microscheuren, barsten aan de randen en een variabele vorm van de snede per sector. We hebben een heatersysteem ontwikkeld om de temperatuur onder controle te houden, zodat de snede elke keer binnen de vereiste parameters valt.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Er wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C behaald in de verhitte zone. Bovendien blijft de setpoint constant, zodat het proces stabiel blijft. Het heatersysteem is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. Het systeem produceert geen deeltjes, zodat er geen contaminatie optreedt. Het kan gemakkelijk worden geïntegreerd in laser-snijplatforms, met een goede mechanische en elektrische verbinding. Het systeem kan 24/7 draaien, met de betrouwbaarheid die je van grote producties verwacht.
Waarom dit belangrijk is: lasersnijden is gevoelig voor temperatuursveranderingen. Als het substraat te weinig wordt verhit, kan de opgenomen laserenergie tot thermische schokken leiden, waardoor het materiaal beschadigd raakt. Als het substraat te veel wordt verhit, kan de fotoresist zacht worden en kunnen de randen rond worden, waardoor de vorm van de snede verandert.
Het heatersysteem stabiliseert de temperatuur precies op het snijpunt, waardoor de integriteit van de fotoresist behouden blijft en de consistentie van de snede verbetert. Hierdoor zijn er minder afwijkingen, minder herwerkwerk en kan de productie efficiënt verlopen.
Een paar praktische tips: bij de installatie is het belangrijk om rekening te houden met de richting van de gasstroom en de afvoer van warmte. Anders kunnen er lokale temperatuurverschillen optreden langs de randen van het substraat. Het heatersysteem bereikt snel de gewenste temperatuur, maar de thermische stabilisatie hangt af van het ontwerp van het systeem en de thermische massa van de kamer. Het is dus belangrijk om het hele systeem te testen, niet alleen het heatersysteem zelf. De materialen zijn geselecteerd voor gebruik in schone kamers, maar tijdens de integratie van natte processen moet er nog steeds rekening worden gehouden met de vereisten voor schone omstandigheden.