Mendapatkan lebih banyak haba di tempat yang sebenarnya diperlukan
Dalam kilang pengeluaran semikonduktor, pembaziran tenaga merupakan kelemahan dalam reka bentuknya. Apabila kita memanaskan wafer silikon, kita bukan sekadar mahukan “lebih banyak haba”. Kita memerlukan setiap foton yang mengenai permukaan wafer tersebut. Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah berbahan serat karbon bersama-sama dengan reflektor yang dilapisi emas. Ini dapat mengelakkan tenaga daripada terbuang begitu sahaja ke udara.
Emas mempunyai kelebihan tersendiri. Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi aluminium menyerap terlalu banyak tenaga. Emas pula sangat efisien dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan melapisi badan lampu dengan emas, kita dapat mengarahkan semula radiasi yang sepatutnya hilang ke arah yang salah ke arah sasaran yang diinginkan.
Ia seperti “code rahsia” untuk mendapatkan lebih banyak haba, tanpa perlu menggunakan lebih banyak tenaga dari sumber kuasa.
Selain itu, kita juga menggunakan serat karbon. Filamen ini mampu bertahan dalam kitaran suhu yang cepat. Suhunya dapat naik dengan lebih cepat berbanding dengan coil tungsten biasa. Kelajuan inilah yang membantu mencegah wafer daripada bengkok.
Namun, perlu berhati-hati: apabila intensiti tenaga meningkat, sistem penyejukan juga perlu berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menangani peningkatan suhu, suhu wafer akan menjadi tidak stabil.
Pemasangan alat ini agak mudah. Ia direka sedemikian rupa agar boleh digunakan sebagai pengganti yang sesuai untuk ruang sempit di kilang pengeluaran semikonduktor.
Beberapa petua semasa memasangnya:
Pertama, pastikan kawalan yang digunakan mampu mengurus impedans khusus serat karbon tersebut.
Kedua, pastikan penempatan reflektor emas betul-betul tepat. Reflektor emas hanya akan berfungsi dengan baik jika ia diletakkan di posisi yang tepat. Jika lampu tidak diletakkan secara tegak lurus walaupun beberapa milimeter saja, haba akan tertumpu di bahagian tertentu pada wafer, bukannya tersebar secara merata. Periksa jarak fokalnya. Ia sangat penting.