http://ir-heating-hub.com/ko/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Infrared Heating Hub Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="매트슨 RTP 램프 교체"></p> <p>생산 라인에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 수율 저하나 CD 제어의 불안정성으로 나타납니다. <a href="https://o-yate.net">Mattson</a> RTP 램프는 건조 및 포토레지스트 가열 과정이 적절한 온도 범위 내에서 이루어지도록 설계되었습니다.</p> http://ir-heating-hub.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:40:45 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <p>실제 작업 환경에서는 열 드리프트가 단순한 실험실용 기술이 아니라 매우 중요한 문제입니다. RTP를 사용할 때, 그 할로겐 램프는 일관된 열을 빠르게 공급해야 하며, 공정에 이물질을 유입시키거나 변수를 발생시켜서는 안 됩니다.</p>