http://ir-heating-hub.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on The Infrared Heating Hub Hugo ko Fri, 17 Jul 2026 08:07:37 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Fri, 17 Jul 2026 08:07:37 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>무연 반표준 부품에 적외선 경화 방식을 사용하는 이유</strong><br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 까다로운 문제가 있습니다. 모든 수분과 용매를 제거해야 하지만, 단 한 방울의 잔여물도 남겨둘 수 없습니다. 또한, 웨이퍼에 과도한 열을 가하면 전체 구조가 망가질 수 있습니다.<br> 그래서 우리는 적외선 경화 방식을 사용합니다. 공기를 가열하는 대신, 적외선은 에너지를 직접 기판 속으로 전달합니다. 대류식 오븐도 필요 없고, 뜨거운 공기나 화학 촉매도 필요하지 않습니다.</p> http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mems-wafer-drying-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>석판 위에서 웨이퍼는 세척 공정을 거친 뒤 건조 공정으로 넘어갑니다. 만약 특정 부분의 온도가 너무 높아지거나 낮아지면, 포토레지스트 패턴이 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 MEMS 웨이퍼용 건조 히터를 개발했습니다. 이 업계에서는 예외를 둘 수 없기 때문입니다.</p>