http://ir-heating-hub.com/ko/tags/%ED%8C%A8%EB%B8%8C/ Recent content in 패브 on The Infrared Heating Hub Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 20:46:51 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Mon, 01 Jun 2026 20:46:51 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="제조 실험실용 고온 가마"></p> <p>바닥면에서 포토레지스트 베이크 중 1°C 변동은 “라인폭 변화”가 아니다. 이는 다량의 불량을 의미한다. 첨단 노드에서는 0.1도 이하의 차이로 수율이 좌우되며, 노는 반드시 이를 엄격히 준수해야 한다.</p> http://ir-heating-hub.com/ko/posts/sustainable-fab-manufacturing-solutions/ Mon, 01 Jun 2026 02:54:00 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/sustainable-fab-manufacturing-solutions/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="지속 가능한 반도체 제조 솔루션"></p> <p>Fab 현장에서 포토레지스트 베이크는 단순한 “예열”이 아니다. 이는 선폭 제어, 결함 밀도, 수율이 결정되는 핵심 단계다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 발생하는 핫스팟은 포토레지스트 프로필을 얇게 만들고 이 현상은 인쇄 과정에서 그대로 남는다. 반대로 콜드 스팟은 경화가 부족해져 필름이 박리 및 미세 스크래치에 취약해진다. 열 균일성이 흐트러지면 경고 신호로 한 장의 불량 웨이퍼가 나오지 않고, 수백 개의 한계치 장치들이 수 시간 후에 신뢰성 문제로 실패한다.</p>