http://ir-heating-hub.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EC%A1%B0/ Recent content in 제조 on The Infrared Heating Hub Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:54:00 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/sustainable-fab-manufacturing-solutions/ Mon, 01 Jun 2026 02:54:00 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/sustainable-fab-manufacturing-solutions/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="지속 가능한 반도체 제조 솔루션"></p> <p>Fab 현장에서 포토레지스트 베이크는 단순한 “예열”이 아니다. 이는 선폭 제어, 결함 밀도, 수율이 결정되는 핵심 단계다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 발생하는 핫스팟은 포토레지스트 프로필을 얇게 만들고 이 현상은 인쇄 과정에서 그대로 남는다. 반대로 콜드 스팟은 경화가 부족해져 필름이 박리 및 미세 스크래치에 취약해진다. 열 균일성이 흐트러지면 경고 신호로 한 장의 불량 웨이퍼가 나오지 않고, 수백 개의 한계치 장치들이 수 시간 후에 신뢰성 문제로 실패한다.</p>