http://ir-heating-hub.com/ko/tags/%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BC/ Recent content in 리소그래피 on The Infrared Heating Hub Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/ko/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="반도체 리소그래피용 오븐 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조하는 과정은 단순히 선택적으로 수행할 수 있는 작업이 아니라, 제품의 품질을 결정하는 핵심 요소입니다. 만약 소프트 베이크의 온도가 일정하지 않거나 하드 베이크 과정에서 균일성이 유지되지 않는다면, 그 결과로 치수 오차나 불순물이 발생하여 웨이퍼가 폐기됩니다. 오븐 내부의 온도가 균일하지 않으면 공정의 정밀도가 떨어집니다.</p>