http://ir-heating-hub.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on The Infrared Heating Hub Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 05:09:05 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 22 Jul 2026 05:09:05 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <p>ウェーハの温度を推測するのはやめましょう。<br> スマートなファブを構築するなら、古い接触型の熱電対は使わない方が良いです。もはやそれでは不十分です。ウェーハの温度を測定するには、高速な赤外線センサーを使用します。これにより、基板に触れることなく、リアルタイムで温度情報を取得できます。</p>