http://ir-heating-hub.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on The Infrared Heating Hub Hugo ja Fri, 17 Jul 2026 08:07:34 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Fri, 17 Jul 2026 08:07:34 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>なぜ無鉛セミスタンダード製品には赤外線硬化法が使われるのか<br> MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際、厄介な問題があります。水分や溶剤の一滴も残してはいけないのですが、同時に、わずかな残留物も許されません。また、ワイヤーに過度な熱を加えてはいけません。そうすると、全体が破壊されてしまいます。</p> http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMSウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程で、ウェーハは洗浄工程を経て乾燥工程に移ります。もし、どこか一か所でも温度が不安定になると、フォトレジストのパターンが変形してしまいます。そうした事態を防ぐために、私たちはMEMSウェーハ用の乾燥ヒーターを開発しました。この業界では、例外を許されないからです。</p>