交換 on The Infrared Heating Hub

交換用ヒーター要素 IP65

Mon, 20 Jul 2026 11:58:34 +0800

なぜ赤外線ヒーターが頻繁に壊れるのか（そして、実際にどうすれば修理できるのか）ヒーターの交換用部品について、少し秘密をお教えしましょう。実際には、ほとんどの場合、フィラメント自体には問題ありません。本当の原因というのは、電線が石英やセラミック製のチューブに接続されるその部分です。もしその接続部が完璧でなければ、湿気や汚れが内部に入り込み、すべてを壊してしまいます。

マットソンRTPランプの交換

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。

重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の赤外線ハロゲンランプを使用しています。これにより、迅速かつ再現性の高い安定した状態が実現されます。その結果、ウェーハ全体の温度均一性が±0.1℃以内に保たれ、ソフトベイクとハードベイクのプロファイルも毎回同じになります。また、このランプは数千時間の使用でも出力が安定しており、5,000時間以上使用しても出力の低下は5％未満です。さらに、ランプが動作する際に粒子が発生しないため、クリーンルーム内の粒子数もClass 1～100の基準を満たしています。

ニコンステッパーランプの交換

Mon, 29 Jun 2026 07:45:55 +0800

ファブの現場では、そのステッパーランプは単にレティクルを照らすだけでなく、各露光処理における熱的な基準値を設定する役割も果たします。もしランプの出力が変動してしまうと、バーク処理のパラメータもそれに合わせて変わってしまいます。その結果、ソフトバークやハードバークの均一性が失われ、CD制御も乱れてしまいます。これはニュースで報じられることはありませんが、実際には製造ライン上でその影響が明確に現れます。