乾燥 on The Infrared Heating Hub

ファブ乾燥用のエネルギー診断

Fri, 24 Jul 2026 11:58:01 +0800

もし、ファブの乾燥ラインを運営しているのであれば、その状況はよくご存知でしょう。加熱要素や配線は、絶え間ない温度変化によってひどいダメージを受けます。本当に過酷な環境です。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 08:07:34 +0800

なぜ無鉛セミスタンダード製品には赤外線硬化法が使われるのか
MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際、厄介な問題があります。水分や溶剤の一滴も残してはいけないのですが、同時に、わずかな残留物も許されません。また、ワイヤーに過度な熱を加えてはいけません。そうすると、全体が破壊されてしまいます。

安価なウェーハ乾燥用ランプの電球

Sat, 04 Jul 2026 12:09:01 +0800

ウェーハ乾燥用の赤外線ランプ：高性能でありながら、高価ではない
私たちが開発したこのウェーハ乾燥用赤外線ランプは、これまで使用してきた高価な輸入品のシンプルな代替品です。有名ブランド製品に匹敵する性能を持ちながら、高額な価格はかかりません。つまり、生産ラインでのコストを削減しつつも、品質を維持できるのです。

MEMSウェーハ乾燥ヒーター

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

リソグラフィーの工程で、ウェーハは洗浄工程を経て乾燥工程に移ります。もし、どこか一か所でも温度が不安定になると、フォトレジストのパターンが変形してしまいます。そうした事態を防ぐために、私たちはMEMSウェーハ用の乾燥ヒーターを開発しました。この業界では、例外を許されないからです。

洗浄ランプ後の速乾ウェーハ

Sat, 20 Jun 2026 06:27:57 +0800

ファブ内では、洗浄後に時間を無駄にする余裕はありません。残留した水分は不純物の原因となり、フォトレジストの乾燥を妨げます。つまり、露光処理が始まる前からすでに歩留まりの低下が起こってしまいます。スピンドライの工程によって時間がかかり、生産効率が低下し、不要なばらつきも生じます。そこで、私たちはこの時間を短縮し、ウェハの表面を保護するための高速乾燥用ランプを開発しました。

ファブでのパッケージング前に半導体を乾燥させる

Wed, 17 Jun 2026 16:30:06 +0800

パッケージングラインでは、清掃後に残ったわずかな水分だけで、デルaminatingやワイヤーボンドの故障が発生し、歩留まりが悪化してしまいます。24時間365日稼働する工場では、熱変動や粒子の影響は単なる「リスク」ではなく、製造を妨げる要因となります。そのため、乾燥処理は再現性があり、清潔で迅速に行われなければなりません。毎シフト、毎ロットにおいても同様です。

重要なのは何か 私たちは、ウェーハレベルでの均一性とクリーンルーム内の管理状況という2つの要素を重視して乾燥処理を設計しています。システムは基板上で±0.1℃の範囲内で設定値を維持するため、フォトレジストの硬化処理の品質が損なわれることはありません。また、クラス1～100の環境下で動作し、粒子の発生は一切ありません。これはリアルタイム監視によって確認されています。部品の寿命は10,000時間以上であり、何千回もの熱サイクルを経ても出力は安定しています。再現性は、クローズドループ制御、追跡可能なレシピ、およびエッジから中心部までの温度差をなくすための熱フィールドマッピングによって実現されます。