http://ir-heating-hub.com/ja/tags/%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%88%E3%82%BD%E3%83%B3/ Recent content in マットソン on The Infrared Heating Hub Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="マットソンRTPランプの交換"></p> <p>ファブの現場では、熱的なドリフトは<a href="https://o-yate.net">警告灯</a>としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、<a href="https://henruite.com">適切</a>な温度範囲内で行えるように設計されています。</p> <p><strong>重要なポイント</strong> 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の赤外線ハロゲンランプを使用しています。これにより、迅速かつ再現性の高い安定した状態が実現されます。その結果、ウェーハ全体の温度均一性が±0.1℃以内に保たれ、ソフトベイクとハードベイクのプロファイルも毎回同じになります。また、このランプは数千時間の使用でも出力が安定しており、5,000時間以上使用しても出力の低下は5％未満です。さらに、ランプが動作する際に粒子が発生しないため、クリーンルーム内の粒子数もClass 1～100の基準を満たしています。</p>