http://ir-heating-hub.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91%E3%83%BC/ Recent content in ステッパー on The Infrared Heating Hub Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 07:45:55 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Mon, 29 Jun 2026 07:45:55 +0800 http://ir-heating-hub.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ニコンステッパーランプの交換"></p> <p>ファブの現場では、そのステッパーランプは単にレティクルを照らすだけでなく、各露光処理における熱的な基準値を設定する役割も果たします。もしランプの出力が変動してしまうと、バーク処理のパラメータもそれに合わせて変わってしまいます。その結果、ソフトバークやハードバークの均一性が失われ、CD制御も乱れてしまいます。これはニュースで報じられることはありませんが、実際には製造ライン上でその影響が明確に現れます。</p>