ファブ乾燥用のエネルギー診断

Fri, 24 Jul 2026 11:58:01 +0800

もし、ファブの乾燥ラインを運営しているのであれば、その状況はよくご存知でしょう。加熱要素や配線は、絶え間ない温度変化によってひどいダメージを受けます。本当に過酷な環境です。

省エネ型半導体ヒーター

Tue, 21 Jul 2026 03:51:42 +0800

なぜ対流式オーブンの代わりにIR硬化技術を使うのか？半導体工場で働いたことがある人なら、その状況はよく知っているでしょう。長年、私たちは巨大な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、業界が無鉛で環境に優しい乾燥方法へと移行するにつれて、そうした古いオーブンではもはや十分ではなくなりました。ここで役立つのが赤外線（IR）硬化技術です。大きな違いは、IRは空気を加熱する必要がない点です。エネルギーを直接基板に送り込むだけです。 部屋全体を加熱する必要がない 従来の温風式オーブンを考えてみてください。部屋全体や中の空気を加熱するために多大なコストがかかります。これは無駄遣いです。一方、IRランプを使えば、電磁波がコーティングや接着剤の必要な部分に直接当たります。最良な点は、起動時間が短いことです。数秒で所定の温度に到達できます。数時間ではありません。数秒です。巨大な金属製の箱を暖め続けるためにエネルギーを無駄にする必要がありません。 無鉛化の難しさ 問題は、無鉛のはんだや接着剤は繊細であることです。従来の有鉛のものよりも高い温度と、より厳格な温度管理が求められます。温度が少しでもずれると、ウェーハが変形したり、はんだに隙間ができたりします。これは本当に厄介です。短波長のIRを使えば、迅速に高い温度に達することができます。クォーツランプを使用することで、熱が材料の深部まで届き、均一に保たれます。対流式オーブンを使った場合によく起こる「端が焼けすぎて中央が十分に硬化しない」という問題もなくなります。欠点もちろん、IRが魔法のようなものだというわけではありません。いくつかの問題点もあります。熱が非常に強烈なため、冷却システムが完璧でなければなりません。もしコンベヤーや基板ホルダーが、硬化ゾーンを出た後の余分な熱を適切に放出できなければ、温度のバラツキが生じます。適切な放熱手段が必要です。そうでなければ、機械が損傷してしまいます。しかし、空気という中継者を排除すれば、炭素排出量を大幅に削減できます。これは、私たちが目指す厳しい環境目標を達成するための簡単な方法です。

省エネ型ウェーハヒーター

Mon, 20 Jul 2026 12:05:48 +0800

なぜ、無鉛チップの製造に赤外線硬化技術を採用するのか
半導体の製造方法が変わりつつあります。私たちは、従来の溶剤を使った乾燥方法や鉛を含む材料から離れていきています。つまり、赤外線硬化技術を積極的に活用することになります。

エネルギー on The Infrared Heating Hub

ファブ乾燥用のエネルギー診断

省エネ型半導体ヒーター

省エネ型ウェーハヒーター