Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer

Tue, 23 Jun 2026 01:17:10 +0800

Nel contesto della produzione, il “budget termico” non è una semplice indicazione: è un limite che non si può superare. Una variazione di mezzo grado durante il processo di ossidazione, o una distribuzione irregolare del calore all’interno del forno, si manifestano rapidamente come perdita di spessore del materiale, deviazioni nella larghezza della linea di produzione e riduzione della resa produttiva. Il costo di queste problematiche si riflette sul tempo di funzionamento delle macchine e sui costi legati all’uso del materiale per la fotolitografia. Quello di cui si ha bisogno è un elemento riscaldante in grado di mantenere la temperatura desiderata, anche quando i parametri del processo cambiano e l’ambiente di lavoro richiede condizioni specifiche.

Ossidazione on The Infrared Heating Hub

Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer