Sostituzione della lampada Mattson RTP

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

Nella sala di produzione, lo spostamento termico non viene indicato da luci di avvertimento. Si manifesta invece come una perdita di resa dei prodotti finiti e come un controllo della concentrazione di particelle che diventa meno preciso. Le lampade Mattson RTP sono progettate per mantenere i processi di essiccazione e trattamento della fotoretina entro i limiti termici previsti.

Ciò che è importante sotto il cofano della lampada
Utilizziamo lampade a infrarossi a onde corte, con involucro in quarzo, progettate per garantire un aumento graduale della temperatura e uno stato stabile e ripetibile. Questo permette una uniformità della temperatura su tutto il wafer di ±0,1°C durante l’intero processo. Inoltre, queste lampade mantengono una potenza costante anche dopo migliaia di ore di funzionamento: abbiamo unità che funzionano da oltre 5.000 ore con una riduzione della potenza inferiore al 5%. Poiché non producono particelle durante il funzionamento, il numero di particelle presente nella sala pulita rimane entro i limiti previsti dalla classe 1–100.

Mattson on The Infrared Heating Hub

Sostituzione della lampada Mattson RTP