Smettete di sprecare calore nella vostra camера chiusa
Se avete mai riscaldato wafer di silicio all’interno di una camerea chiusa, sapete bene quali siano le difficoltà. Le lampade a quarzo standard emettono calore in tutte le direzioni: la metà dell’energia prodotta viene persa, riscaldando invece la struttura della camerea o le sue pareti, anziché il wafer stesso. È uno spreco di energia e rappresenta un problema per il funzionamento dell’apparecchiatura.
Abbiamo risolto questo problema aggiungendo riflettori rivestiti d’oro. In questo modo, il calore viene rifratto direttamente sul wafer, evitando che vada disperso.
Perché l’oro?
È semplice: l’oro è estremamente efficace nel riflettere la luce infrarossa. Aggiungendo uno strato sottile e ad alta purezza sulla superficie dei riflettori, possiamo indirizzare molta più energia verso il wafer. In questo modo, il wafer raggiunge più rapidamente la temperatura desiderata. Non solo risparmiate energia elettrica, ma anche tempo.
Mantenere le temperature sotto controllo
Le camere chiuse sono spazie ridotte. Se si utilizza troppa energia per compensare le perdite di calore, il resto della camera diventa eccessivamente caldo. Grazie al rivestimento d’oro, non è necessario utilizzare una potenza eccessiva: si ottiene così un controllo preciso sulla temperatura, che rimane esclusivamente sul wafer, senza influenzare il resto degli elementi presenti nella camera.
Alcune cose da tenere a mente
Non si tratta di magia… ci sono comunque alcuni limiti. Poiché il calore viene concentrato in modo molto preciso, la zona ideale per il riscaldamento è limitata. Se il wafer non si trova esattamente nel punto focale, si avrà un riscaldamento irregolare. È quindi importante essere precisi nella posizione del wafer lungo l’asse Z.
Inoltre, l’oro è piuttosto sensibile: se nel processo di lavorazione vengono utilizzati gas corrosivi, questi possono danneggiare il rivestimento, causandone l’usura. In tal caso, basta proteggere i riflettori per evitare problemi.
Come funzionano
Questi riflettori sono progettati per sostituire facilmente i riflettori IR attualmente in uso. Utilizziamo connettori resistenti, in modo da evitare problemi legati all’usura dei terminali a causa delle alte correnti. Collegateli a un controllore PID per regolare la temperatura, e noterete subito la differenza: il tempo necessario per raggiungere la temperatura desiderata sarà notevolmente ridotto.