RTP on The Infrared Heating Hub

Penggantian lampu RTP Mattson

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

Di area produksi, gangguan akibat perubahan suhu tidak ditandai dengan adanya lampu peringatan. Gangguan tersebut terlihat dalam bentuk penurunan kualitas produk dan ketidakstabilan proses pengolahan fotoresisten. Lampu Mattson RTP dirancang untuk memastikan bahwa proses pengeringan dan pematangan fotoresisten berlangsung dalam rentang suhu yang tepat.

Apa yang penting di baliknya? Kami menggunakan lampu halogen inframerah berfrekuensi rendah yang dilindungi oleh lapisan kuarsa. Lampu ini dirancang untuk memberikan suhu yang seragam pada permukaan wafer, yaitu sekitar ±0,1°C selama proses berlangsung. Selain itu, lampu ini juga memiliki kemampuan untuk menjaga stabilitas outputnya selama ribuan jam penggunaan—beberapa unit bahkan sudah digunakan lebih dari 5.000 jam tanpa penurunan output lebih dari 5%. Karena lampu ini tidak menghasilkan partikel ketika digunakan, maka jumlah partikel di ruang bersih tetap berada dalam kisaran yang diizinkan, yaitu kelas 1–100.

Lampu halogen untuk sistem RTP

Fri, 26 Jun 2026 05:40:46 +0800

Di lapangan, fenomena drift termal bukanlah sesuatu yang hanya menjadi topik penelitian di laboratorium saja—ini merupakan masalah serius yang perlu diperhatikan. Saat menggunakan RTP, lampu halogen tersebut harus mampu menghasilkan panas yang konsisten, dengan cepat, tanpa menghasilkan partikel-partikel yang bisa merusak proses produksi atau menimbulkan variabilitas.

Apa yang benar-benar penting? Lampu ini dirancang dengan filamen halogen berkualitas tinggi yang berada di dalam selubung kuarsa. Filamen tersebut mampu menghasilkan energi gelombang pendek sehingga suhu dapat diatur secara cepat dan akurat. Dengan demikian, tingkat keseragaman suhu di permukaan wafer tetap stabil, yaitu dalam kisaran ±0,1°C selama proses berlangsung. Kemasan lampu ini juga cocok untuk digunakan di lingkungan cleanroom, sesuai standar kelas 1–100. Selain itu, lampu ini dirancang sedemikian rupa sehingga tidak menghasilkan partikel apa pun saat digunakan.