Di fasilitas litografi, proses pemanasan fotoresist bukanlah sesuatu yang bisa diabaikan—ini merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualitas produk akhir. Jika suhu pemanasan tidak stabil atau hasil pemanasan tidak merata, maka akan timbul kesalahan dimensi pada wafer, serta wafer tersebut akan terpaksa dibuang. Ketika lampu oven tidak mampu menciptakan kondisi termal yang seragam di seluruh area pemanasan, maka proses produksi akan terhambat.
Yang penting dalam sistem ini
Kami menggunakan lampu oven berbasis halogen berpanjang gelombang pendek dan elemen kuarsa yang telah disesuaikan untuk panjang gelombang inframerah dekat. Hal ini memungkinkan respons termal yang cepat serta output radiasi yang stabil. Sistem ini dirancang agar suhu termal di seluruh area pemanasan tetap stabil pada kisaran ±0,1°C, sehingga dimensi wafer tetap presisi dari satu siklus produksi ke siklus produksi berikutnya.
Modul lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan dan segel yang mampu menghilangkan partikel-partikel yang mungkin terbentuk. Unit ini telah beroperasi lebih dari 5.000 jam tanpa penurunan output lebih dari 5%, sehingga tidak ada downtime yang tidak terduga.
Mengapa hal ini penting dalam proses produksi
Lampu ini memberikan kontrol suhu yang diperlukan oleh lapisan fotoresist modern. Proses pemanasan menjadi lebih konsisten, penghapusan pelarut juga berjalan secara stabil, dan proses pemanasan yang intensif membantu mencapai stabilitas profil permukaan wafer. Dengan demikian, jumlah pekerjaan ulang berkurang, kualitas produk lebih stabil, dan konsumsi energi per siklus produksi pun menurun.
Di jalur pengemasan yang menggunakan proses pada tingkat wafer, ketepatan yang sama juga memastikan proses pengeringan film berjalan secara konsisten, tanpa menyebabkan deformasi pada wafer.
Catatan sebelum memesan
Pemasangan lampu ini membutuhkan penyesuaian antara geometri ruang oven dan geometri reflektor. Anda hanya akan mendapatkan output yang maksimal jika lampu dipasang bersama dengan sarung kuarsa dan perangkat pengencang yang tepat.
Harap bersiap untuk masa stabilisasi termal yang singkat setelah mengubah prosedur pemanasan. Aturlah interval kalibrasi agar suhu tetap stabil pada kisaran ±0,1°C. Sebelum memesan, pastikan kompatibilitas kontroler oven Anda.