मैटसन आरटीपी लैंप का प्रतिस्थापन

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

फैब फ्लोर पर, थर्मल ड्रिफ्ट का पता चेतावनी संकेतों के माध्यम से नहीं चलता। इसका प्रभाव उत्पादन हानि एवं सीडी नियंत्रण पर पड़ता है। मैटसन आरटीपी लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि वे ड्राइंग एवं फोटोरेसिस्ट संबंधी प्रक्रियाओं को थर्मल बजट के भीतर ही रखें।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंपों में क्वार्ट्ज आवरण होता है, जिससे तापमान तेज़ी से एवं स्थिर रूप से नियंत्रित होता है। इससे प्रक्रिया के दौरान वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। ऐसे लैंप हजारों घंटों तक स्थिर रूप से काम करते हैं… हमारे यहाँ 5,000+ घंटों तक काम करने वाले लैंप भी हैं, जिनमें आउटपुट में 5% से भी कम कमी आई है। चूँकि ऐसे लैंपों से कोई कण नहीं निकलते, इसलिए क्लीनरूम में कणों की संख्या क्लास 1–100 के दायरे में ही रहती है।

मैटसन on The Infrared Heating Hub

मैटसन आरटीपी लैंप का प्रतिस्थापन