जब हीटिंग सिस्टम अपनी सीमा तक पहुँच जाता है, तो वेफरों के संदूषित होने को रोकना आवश्यक है।
सेमीकंडक्टर उत्पादन संयंत्रों में, लैंप के फटने से न केवल काम में बाधा आती है, बल्कि यह एक बड़ी समस्या भी है। जब क्वार्ट्ज ट्यूब भारी भार के कारण फट जाती है, तो इससे वेफरों पर टुकड़े एवं कण गिर जाते हैं।
हमने ऐसे उच्च-गुणवत्ता वाले हीटर लैंप बनाए हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
लैंप फटने को रोकने का रहस्य
हम सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं। यह अत्यधिक शुद्ध होता है (99.99% से अधिक), इसलिए यह तेज तापमान पर भी टूटने से बच सकता है।
अक्सर, लैंप उसी जगह फट जाता है, जहाँ इलेक्ट्रोड क्वार्ट्ज से जुड़ते हैं। हमने इन क्षेत्रों को मजबूत बनाया है, ताकि हैलोजन चक्र के कारण उत्पन्न आंतरिक दबाव के बावजूद भी सील ठीक रहे।
फिलामेंट को भी सटीक तरीके से स्थापित किया जाता है। ऐसा करने से तापमान संतुलित रहता है, एवं ट्यूब भी ठीक रहती है।
समस्याओं को नियंत्रित रखना
बेहतरीन सामग्रियों के बावजूद, हम भी सबसे खराब स्थिति के लिए तैयार रहते हैं।
हम हीटिंग एलिमेंट को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज स्लीव/सुरक्षात्मक कवर में लपेट देते हैं। ऐसा करने से, अगर लैंप फट भी जाए, तो काँच एवं गैस बाहर नहीं निकल पाएंगे। इससे वेफर साफ रहेंगे, एवं उत्पादन भी सुरक्षित रहेगा।
एक छोटी सी सलाह: हमारे निर्धारित वोल्टेज मानों का ही उपयोग करें। अधिक वोल्टेज देने से लैंप जल्दी खराब हो जाता है।
समझौता
यही सच्चाई है… ऐसे सुरक्षात्मक कवरों के कारण थर्मल मास बढ़ जाता है। इस कारण, तापमान नियंत्रित करने में थोड़ा समय लगेगा। आपको अपने PID ट्यूनिंग को सही रखने की आवश्यकता है।
यह तो एक छोटी सी कीमत है… बेहतर है कि थोड़ा धीरे तापमान बढ़े, बजाय इसके कि एक ही लैंप के कारण पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाए।