वेफरों को गर्म रखना: आईआर हीटर्स के बारे में सच्चाई
यदि आप कोई आधुनिक सेमीकंडक्टर फैक्ट्री चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही इसकी आवश्यकता पता होगी। वेफरों को गति के दौरान भी थर्मल रूप से स्थिर रखना आवश्यक है। लेकिन क्लीन रूम में ऐसा करना काफी कठिन है।
इसीलिए हम ट्रॉली हीटरों के लिए इन्फ्रारेड (IR) सिस्टमों का उपयोग करते हैं। इन्फ्रारेड हीटरों का लाभ यह है कि ये विकिरण-आधारित ऊष्मा प्रदान करते हैं। ऐसे में गर्म हवा का उपयोग नहीं किया जाता, जिससे कणों का उत्पादन होता है एवं वातावरण खराब हो जाता है।
स्मार्ट नियंत्रण (बिना किसी परेशानी के)
हार्डवेयर तभी अच्छा होता है, जब उसे एक अच्छा “मस्तिष्क” नियंत्रित करे। हम ऐसे IR सिस्टम बनाते हैं, जिन्हें आपके मौजूदा PLC सर्किटों में आसानी से जोड़ा जा सके।
चूँकि हम शॉर्ट-वेव आईआर एमिटरों का उपयोग करते हैं, इसलिए प्रतिक्रिया समय बहुत ही कम है। ये हीटर तुरंत ही गर्म/ठंडे हो जाते हैं। इससे आप ट्रॉली की स्थिति या वेफरों की आवश्यकताओं के आधार पर तापमान को आसानी से समायोजित कर सकते हैं।
इसके अलावा, आप प्रत्येक बैच में कितनी ऊर्जा खर्च हो रही है, इसका भी ट्रैक रख सकते हैं। इससे आपका ऊर्जा-खर्च केवल एक लागत ही नहीं, बल्कि एक डेटा-पॉइंट भी बन जाता है, जिसका उपयोग आप अपने उत्पादन प्रक्रम को बेहतर बनाने हेतु कर सकते हैं।
ऊष्मा संबंधी विवरण
क्लीन रूम में जगह हमेशा ही सीमित होती है। इस समस्या को हल करने हेतु हम उच्च-घनत्व वाले क्वार्ट्ज तत्वों का उपयोग करते हैं।
चूँकि ये विकिरण-आधारित ऊष्मा प्रदान करते हैं, इसलिए इन तत्वों को लोड के बहुत पास रखा जा सकता है। ऐसे में पुराने रेजिस्टिव हीटरों के कारण होने वाली समस्याओं की चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं है।
लेकिन एक सलाह – अपनी ऊर्जा-घनत्व पर ध्यान दें।
उच्च-वॉटेज वाले हीटर तो तेजी से काम करते हैं, लेकिन वे बहुत ऊर्जा खपत करते हैं। यदि आप उच्च-आउटपुट वाले हीटरों का उपयोग कर रहे हैं, तो यह सुनिश्चित करें कि आपके वायरिंग एवं कनेक्टर उस धारा को संभाल सकें। अन्यथा वोल्टेज में कमी आ जाएगी, जिससे वेफरों पर असमान ऊष्मा लगेगी। कोई भी ऐसा नहीं चाहता।
स्वच्छता बनाए रखना
फैक्ट्री में संदूषण ही सबसे बड़ी समस्या है। हम हर चीज़ को सील्ड क्वार्ट्ज कवरों में रखते हैं, ताकि कोई कण आपके कार्यस्थल में न जा सके।
हमने यह भी सुनिश्चित किया है कि हार्डवेयर को आसानी से साफ किया जा सके, एवं यह जीवाणुनाश हेतु उपयोग में आने वाले रासायनिक पदार्थों का सामना कर सके। यह एक सरल व्यवस्था है, लेकिन इससे वेफरों को गर्म रखने की प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती।