http://ir-heating-hub.com/he/tags/%D7%9C%D7%99%D7%AA%D7%95%D7%92%D7%A8%D7%A4%D7%99%D7%94/ Recent content in ליתוגרפיה on The Infrared Heating Hub Hugo he Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/he/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/he/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="נורת תנור לליתוגרפיה של חצאי מוליכים"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, חימום החומר הפוטורזיסטיבי אינו דבר שניתן לוותר עליו – זו בעצם הדרך לשלוט באיכות התוצר. אם טמפרטורת החימום אינה יציבה, או שהחימום אינו אחיד, ייווצרו שגיאות בממדים של הוופרים, ואלו יסתיימו בפסולת. כאשר נורת התנור אינה מסוגלת לשמור על אחידות טמפרטורית בכל שטח החימום, התהליך נכשל.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו בוחרים נורות לתנורי ליתוגרפיה שמשתמשות בחומרי הלוגן בגלים קצרים ובחומרי קוורץ שמותאמים לטווח אור אינפרא-אדום. התוצאה היא תגובה תרמית מהירה והפקת אור יציבה. המערכת מותאמת כך שתשמור על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C בכל שטח החימום, וכך לשמור על הממדים הנדרשים בכל פעם שמבצעים את התהליך.</p>